판매용 중고 CANON EX4 #9356495

CANON EX4는 일본 이미징 및 광학 제품 회사 인 CANON, Inc.에서 제조 한 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 색조 제어, 해상도, 기능 크기의 반복 가능성 및 우수한 등록 정확도를 갖춘 "고급" 노출 도구입니다. EX4는 반도체, 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 및 기타 산업의 웨이퍼 및 기타 플랫 기판에 고해상도 이미지를 인쇄하는 데 사용됩니다. 캐논 엑스 4 (CANON EX4) 는 1 미크론 미만의 매우 정확한 기능 크기와 0.5 미크론 미만의 반복 성을 사용하여 이미지를 인쇄 할 수 있습니다. 그것은 최대 8 레벨의 넓은 노출 위도와 색조 제어를 가지고 있습니다. 노출 헤드에는 인쇄 된 이미지의 해상도와 명암비를 증가시키는 이중 각도 조명 (dual-angle lumination) 장비도 있습니다. 노출 시스템 (Exposure System) 은 패턴 인식 기술 (Pattern Recognition Technology) 을 사용하여 설계되어 장치가 패턴을 신속하게 감지하고 노출 매개변수를 조정하여 일관된 결과를 얻을 수 있도록 합니다. EX4는 안전과 인체 공학을 염두에두고 설계되었습니다. "웨이퍼 '를 빠르고 쉽고 안전 하게 적재 하는 독특 한 장전 장치 가 특징 이다. 이 도구에는 노출 전에 표면에서 입자, 긁힘, 이물질을 확인할 수있는 모니터링 에셋 (monitor asset) 이 있습니다. 또한 웨이퍼에 정전기 손상을 방지하는 정전기 방지 (Anti-Static) 모델이 장착되어 있습니다. 또한, 진동을 줄이고 노출 과정을 정확하게 제어 할 수있는 강성 (rigid) 로봇 암이 있습니다. 또한 CANON EX4 는 다양한 자동 데이터 분석 툴, 이미지 옵션 및 기타 기능을 제공합니다. 이러한 옵션에는 통합 레시피 인터페이스 (Integrated Recipe Interface), 자동화된 공구 정렬 기능, 최적화된 노출 매개변수 설정, 모니터링 및 제어를 위한 원격 액세스 장비 등이 포함됩니다. 또한 자동 검토 시스템 (Automatic Defect Review System) 이 내장되어 있어 이미지의 결함이 있는 영역을 식별할 수 있습니다. 전반적으로 EX4는 고급 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로 웨이퍼 및 기타 플랫 기판에서 고해상도 이미지를 인쇄하는 데 사용됩니다. 이중 각도 조명 (dual-angle lumination) 및 정적 방지 시스템 (anti-static system) 과 같은 기능은 전통적인 스테퍼보다 우위를 점합니다. 자동화된 데이터 분석, 이미징 옵션, 원격 제어 장치 (Remote Control Unit) 를 통해 반도체 및 마이크로일렉트로닉스 산업에 유용한 툴이 됩니다.