판매용 중고 CANON EX4 #9247920

캐논 엑스 4 (CANON EX4) 는 정밀 리소그래피 및 재료 분석에서 차세대 스테퍼 솔루션으로 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. EX4는 25mm ~ 300mm 범위의 노출 필드 크기를 가능한 풀 필드 스캔 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 원격 중심 광학 요소를 활용하여 정밀도를 강화하고, 초점 자동화를 확대하여, 탁월한 생산성과 반복성을 보장합니다. CANON CSPI (Common Stepper Precision Initiative) 와 결합 된 이러한 기능으로 최대 오버레이 정확도는 0.05äm (20nm) 입니다. 캐논 엑스 4 (CANON EX4) 의 최대 해상도는 0.4äm이며, 저배율 (low magnization) 의 경우 최대 8m로 한 번의 샷에서 최대 3 개의 노출을 수행하거나 고해상도 확대 (high-resolution magnification) 의 경우 10äm까지 노출 할 수 있습니다. 이 스테퍼는 또한 이중 보드 배치 장비 (double board placement equipment) 를 갖추고 있어 수동 (manual) 과 자동 (automated) 작업을 모두 수행할 수 있으며, 효율성과 정확도를 향상시키기 위해 맵과 이미지 형식으로 보드 패턴을 조정하고 표시할 수 있습니다. 엑스 4 (EX4) 는 초점 깊이가 최대 12äm 인 인상적인 광학 시스템으로, 더 빠르고 정확한 노출 분야를 제공합니다. 또한, 스테퍼의 힘 새로 고침 장치 (force refresh unit) 는 노출 오류를 감지하고 전체 필드에 대해 Z축을 올바르게 조정하도록 설계되었습니다. 기계는 또한 길 잃은 빛 간섭을 제거하여 정확한 영상을 보장합니다. 캐논 엑스 4 (CANON EX4) 는 유지보수가 쉽고 인력과 제품에 대한 우수한 안전 대책을 가지고 있습니다. CANON Layout Manager 소프트웨어 패키지와 완벽하게 통합된 사용자는 10,000 개가 넘는 부품 구성 가능한 레시피 및 라이브러리에 액세스하여 최적의 노출 제어 및 반복 기능을 제공하며, 보드 처리를 용이하게 하는 온보드 (on-board) 로봇 핸들러도 사용할 수 있습니다. 궁극적으로, EX4는 우수한 정확성과 원활한 운영이 필요한 직물 및 대학에 이상적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 최신 웨이퍼 스캐닝 솔루션과 문제 없는 (Trouble-free) 운영을 통해, CANON EX4는 제어, 정밀 리소그래피 및 재료 분석을위한 완벽한 도구입니다.