판매용 중고 CANON ES5 #9227408

CANON ES5는 반도체 제조 공정에 사용되는 고사양 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 웨이퍼의 높은 정확도와 높은 처리량 노출 처리를 가능하게 하며, 서브 미크론 웨이퍼 (sub-micron wafer) 에 대한 매우 높은 정확도의 스캐닝 노출 처리를 실현할 수 있도록 설계되었습니다. CANON ES-5는 공간 정확도가 0.047 미크론 (장비의 총 정확도는 3.5 nm 미만) 이고 노출 정확도는 0.25 nm입니다. 그것 은 여러 가지 형태 의 인쇄 회로 "보드 '를 처리 할 때 에도 정확성 을 향상 시킬 수 있는 독특 한 주사 장치 를 갖추고 있다. ES5 는 초고속 웨이퍼 처리 장치 (wafer handling unit) 를 사용하며, 한 번의 스트로크로 최대 48 개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 이를 통해 빠른 속도와 높은 정확도로 웨이퍼 노출이 가능합니다. ES-5에는 M12 동력 회절 형 자동 스테이지가 있으며, 이는 고속 스캐닝 모드에서 고정밀 정렬 및 반복성을 제공합니다. 또한 모터 구동 자동 초점 메커니즘 (motor-driven auto-focus mechanism) 과 완전 오버랩 스캔 (full overlap scan) 모드가 사용되어 웨이퍼의 고품질 노출을 보장합니다. 이미지 처리 장치 (image processing machine) 는 또한 스테퍼에 내장되어 있으며, 이는 결함 이미지를 수정하고 전체 노출 시간을 줄이는 데 사용됩니다. 또한, CANON ES5는 고정밀, 고속 레티클 스테이지와 적층 유리 기판을 결합하여 광범위한 박막 장치에 적합한 선택입니다. 이 기계의 추가 기능은 고급 제어 도구 (Advanced Control Tool) 로, 안정적이고 정확한 위치를 제공합니다. 이 스테퍼는 또한 고급 독점 광학 자산 (Advanced Proprietary Optical Asset) 을 통합하여 렌즈와 미러의 조합을 사용하여 광학 왜곡을 줄이고 플레어를 최소화합니다. 결과적으로 이미지 해상도가 우수하고 대비가 큰 고품질 이미지가 만들어집니다. 마지막으로, CANON ES-5는 또한 소형 웨이퍼를위한 진공 모델 및 통합 리셉터클을 갖추고 있어 설치 및 로딩이 쉽습니다. 또한 스텝퍼 (stepper) 는 다양한 자동 로드 및 언로드 기능을 제공하여 웨이퍼 (wafer) 처리를 최소한으로 유지합니다. 전체적으로, ES5 는 최적의 SEMI 표준 노출 처리 및 정확한 웨이퍼 포지셔닝을 위해 설계된, 매우 안정적이고 효율적인 스테퍼입니다. 정밀도가 높은 정렬 및 노출 정확도를 달성하는 한편, 전체 노출 시간을 줄일 수 있습니다. 이를 통해 제조업체는 다양한 애플리케이션에서 활용할 수 있는 고품질, 정밀한 제품을 생산할 수 있습니다 (영문).