판매용 중고 CANON ES2 #9272652

CANON ES2
제조사
CANON
모델
ES2
ID: 9272652
Stepper.
CANON ES2는 웨이퍼 스테퍼로, 저용량의 방사선 (X-ray) 에서 탁월한 정확도, 높은 처리량 및 뛰어난 이미지 품질로 유명합니다. 반도체 업계에서 가장 발전된 솔루션 중 하나이며, 미세구조 이미징 (microsstructure imaging) 을 만드는 데 자주 사용됩니다. 캐논 ES 2 (CANON ES 2) 는 표준 설정으로 최대 1Wa/sec의 처리량을 통해 빠르고 정확한 스캔 및 동력 작동을 제공하도록 설계되었습니다. 이 속도에서도 스캔의 정확도는 높게 유지되며, 최대 0.2 ½ m (으) 까지 정확도 단계를 달성 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼로서, XY 스캐닝 스테이지와 수직 마운팅 스테이지로 구성된 듀얼 스테이지 스테핑 메커니즘이 특징입니다. XY 스테이지는 압전 다이렉트 드라이브 (piezoelectric direct-drive) 시스템을 갖추고 있으며, 정확도, 속도 및 반복성을 향상시키기 위해 부피가 큰 전통적인 스테핑 모터가 필요하지 않습니다. ES2 는 고효율의 옵티컬 시스템 (Optical System) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 이미지 품질을 유지하면서 부분 스캔 (Partial Scan) 모드를 활용할 수 있고, 노출 시간을 단축할 수 있습니다. 정확한 이미징을 위한 다양한 해상도를 제공합니다. 또한 미세 노출 (Micro-Exposure) 이 가능하며, 매우 작은 지역에서 5 ½ m 크기의 이미징을 만들 수 있으며, 정확도가 높습니다. 또한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 사용자에게 이미징의 정확성, 안정성 및 재생성을 향상시키는 다양한 소프트웨어 최적화 기능을 제공합니다. 자동 노출 제어 (Auto Exposure Control) 를 통해 일관되게 정확한 결과를 얻을 수 있으며, 다중 노출 보상 소프트웨어를 통해 사용자가 고품질 이미지를 생성하는 노출을 겹칠 수 있습니다. 또한, 표류 보정 (drift correction) 기능은 오류 수가 적은 고해상도 이미징을 보장하기 위해 지구의 중력 및 진동을 보완하는 데 도움이됩니다. 전반적으로, ES 2는 노출 시간을 최소화하면서 매우 정확한 이미징을 보장하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 강력한 듀얼 스테이지 XY 스테핑 메커니즘, 효율적인 옵티컬 시스템 (optical system) 및 다양한 소프트웨어 기능을 통해 모든 특수 반도체 이미징 요구 사항에 적합합니다.
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