판매용 중고 CANON ES2+ #9272650

CANON ES2+
제조사
CANON
모델
ES2+
ID: 9272650
Stepper.
CANON ES2 + 는 최고의 웨이퍼 스테퍼로, 엄격한 내결함성과 까다로운 데이터 세트의 정확성과 정확성을 제공하도록 설계되었습니다. 다단계 정밀 모터 (precision motor) 및 컨트롤 시스템 (control system) 을 갖춘 고급 광학 석판화 장비로, 사용자가 웨이퍼를 정확하게 정렬하고, 노출을 조작하고, 프로세스를 빠르게, 정확하게 이동할 수 있습니다. 이 장치는 등록/로딩 스테이션, 노출 헤드, 웨이퍼 조작을위한 3 개의 전용 단계, 정렬 단계, 트랙 세트 마커 및 내장 공기 베어링 스테이지로 구성됩니다. ES2 + 는 매우 정밀한 줌 렌즈와 매우 빠른 웨이퍼 작동을 특징으로합니다. 따라서 노출 시간이 최소화되고 오염 및 결함 수준이 줄어드는 고화질 이미징 (HD) 을 구현할 수 있습니다. 이 기계는 또한 노출 과정이 시작되기 전에 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 검사, 식별 및 거부하여 비용이 많이 드는 노출 재 작업 (rework) 을 줄일 수 있습니다. CANON ES2 + 는 5 인치 및 6 인치 (152mm 및 193mm) 웨이퍼와 호환되며 정밀한 오버레이 등록 및 정렬이 가능합니다. ES2 + 는 고급 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 여기에는 내장 프로그래밍 가능한 웨이퍼 조작 지원, 객체 인식, 광학 왜곡 제어, 정확한 노출 헤드 위치 모니터, 프로세스 관리 자동화, 노출 평가 모니터 등이 포함됩니다. 이러한 기능을 사용하면 섬세한 웨이퍼 리소그래피 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. CANON ES2 + 의 응답성을 통해 고급 기능 너비 (feature width) 와 노출 전략 (exposure strategies) 을 사용할 수 있으므로 프로세스 생산성을 향상시키고 스크랩을 줄일 수 있습니다. ES2 + 는 사용자 친화적이며, 작업을 쉽게 수행할 수 있도록 직관적인 명령 세트를 갖춘 GUI (Graphical User Interface) 를 갖추고 있습니다. 또한 [자동 초점 교정] 메뉴가 포함되어 있어 민감한 정렬 작업에 필요한 도구를 쉽게 설정할 수 있습니다. 캐논 에스 2 + (CANON ES2 +) 는 꾸준한 초점을 유지하고 과도한 진동으로 인한 오해를 줄이고 정확성에 더 기여하는 독특한 진동 자산을 갖추고 있습니다. 또한, 이 모델에는 빠르고 정확하게 노출을 줄이는 모터 구동 감쇠 장치 (motor-driven attenuator) 가 장착되어 있습니다. ES2 + 는 (는) 사전 설치되어 작동 준비가 되어 있으므로 즉시 사용 가능합니다. 또한 빠른 시스템 통합을 지원하는 CANON 장비 통합 플랫폼 (CANON equipment integration platform) 덕분에 설치가 단순화되었습니다. 또한 CANON 24/7 지원 서비스에서 모니터링 및 지원하여 성능 및 가동 시간을 보장합니다. 캐논 ES2 + (CANON ES2 +) 는 웨이퍼 노출 요구를 충족하는 탁월한 솔루션을 제공하여 설정 시간과 번거로움을 최소화하면서 높은 품질의 결과를 제공합니다.
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