판매용 중고 CANON 420209887 #9308582

CANON 420209887은 반도체 패턴 및 리소그래피 응용 프로그램에 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치는 CANON 엘리트 시리즈 스테퍼의 일부이며, 칩 생산에 높은 효율성과 정밀도를 제공합니다. 고해상도에서 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 노출 할 수 있습니다. 420209887에는 High-QE 또는 3jm 정렬을 위해 최대 841mJ/cm2의 UV 에너지 범위를 제공하는 조명 장비가 장착되어 있습니다. 가변 종횡비 오브젝티브 렌즈 (Variable Aspect Ratio Objective lens) 는 스테퍼에 통합되어 16nm 회선/공간 및 5um 접촉 정렬의 최대 해상도를 제공합니다. 이를 통해 기계는 이미지 왜곡 없이 복잡한 회로 패턴을 효율적으로 노출 할 수 있습니다. 이 시스템에는 또한 AI 알고리즘을 사용하여 웨이퍼를 노출 할 때 프로세스 변동성을 예측하는 OPC 모듈이 장착되어 있습니다. 빠른 처리량을 위해 자동 로드 장치 (Automatic Loading Unit) 를 통해 컴퓨터에 웨이퍼가 로드됩니다. 이 잡지는 최대 150 개의 8 인치 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 캐논 420209887 (CANON 420209887) 은 공구 내부의 압력과 온도를 유지하는 데 도움이 되는 고급 공기 관리 머신으로 설계되었습니다. 이렇게 하면 노출 및 에치 결과가 일관되게 유지됩니다. 에셋의 최소 기능 크기는 16nm이며, 보다 복잡한 회로 패턴을 허용합니다. 또한 FOUP Auto Change 모델에는 FOUP Auto Change (FOUP 자동 변경) 모델이 장착되어 있습니다. FOUP 패키지를 교체하려면 버튼을 클릭하십시오. 따라서 다운타임을 줄이고 프로세스 변경을 간소화할 수 있습니다. 마지막으로, 최첨단 E-Max 컨트롤러가 시스템에 통합되어 완벽한 사용자 인터페이스 (User Interface) 및 모니터링 장비로 고정밀 성능을 제공합니다. 전체적으로 420209887은 정확하고 고효율성을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. UV 에너지 범위, 가변 종횡비 목표 렌즈, 자동 로드 시스템, 5um 접촉 정렬 및 FOUP 자동 변경 장치 등 다양한 기능을 제공합니다. 고급 공기 관리 시스템과 E-Max 컨트롤러는 성능과 정확도를 더욱 향상시킵니다.