판매용 중고 CANON 36-3 #9284914

CANON 36-3 Wafer Stepper는 집적 회로 생산에 사용되는 매우 자동화되고 정확한 기계입니다. 정밀도가 높은 반도체 웨이퍼에서 회로 패턴을 생성 할 수 있습니다. 그것 은 "스텝 '(step) 이라고도 하는 기술 을 사용 하는데, 이것 은 일련의 계단" 마스크' 를 통하여 빛 의 패턴 에 "웨이퍼 '를 노출 시키는 것 과 관련 이 있다. 36-3 은 높은 생산성을 위해 설계되었으며, 주기 시간은 단계당 6 초에 불과합니다. 최첨단 비전 (vision) 시스템이 장착되어 있어 오류를 신속하게 파악하고 정확한 결과를 보장합니다. 고도의 광학 시스템은 365nm 직경의 해상도를 가지며, 이는 고급 리소그래피 (lithography) 프로세스에 사용되는 가장 작은 노드를 패턴화하는 데 적합합니다. 캐논 36-3 (CANON 36-3) 은 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수있는 전동 다중 축 단계를 사용합니다. 노출 단계에는 6 개의 독립적 인 동력 축이 포함되어 있으며, 나노 미터 정밀도와 복잡한 다중 패턴 정렬이 가능합니다. 또한, 동력 서보 값은 노출 정확도를 높이고 레시피 개발 시간을 줄입니다. 36-3 Wafer Stepper에는 프로그래밍을 단순화하고 전문 프로그래밍 지식이 필요하지 않은 사용자 친화적 인 GUI (Graphical User Interface) 가 제공됩니다. 사용자 정의 레시피는 내장 메모리를 통해 가져오고 내보낼 수 있습니다. 이 기계는 온라인 프리셋팅 (presetting) 도 포함하며, 단일 버튼을 눌러 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 정확하게 설정할 수 있습니다. 캐논 36-3 (CANON 36-3) 은 자동 유지 관리 및 스테퍼가 작동하는 동안 이상을 감지하고 보고하는 고급 진단 프로그램 (Advanced Diagnostics) 을 통해 최대 가동 시간을 보장합니다. 또한 네트워크 내 다른 시스템과 연결할 수 있는 네트워킹 (networking) 옵션을 통해 손쉽게 데이터를 교환할 수 있습니다 (영문). 요약하자면, 36-3 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 최첨단 기술 기능을 갖춘 혁신적인 기계로, 고정밀 사진 해설에 이상적인 선택입니다. 높은 정확성, 고속, 간편한 프로그래밍 기능, 자동화된 유지 관리 및 진단 시스템을 갖추고 있습니다. 집적 회로 생산 설비 중 어느 것 이나 매우 정확 한 "패턴 '을 만들어 내려고 하는 완전 한 선택 이다.