판매용 중고 CANON 13 #9284912

CANON 13은 CANON Inc.에서 제조 한 정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. Semiconductor, Photonics, MEMS 및 IC/MEMS/BIO 산업의 고정확도 사진 해설을 위해 설계되었습니다. 이 기계는 처리량이 많은 애플리케이션을 위해 설계되었으며, 실리콘, 쿼츠, 글래스 등의 기판에서 매우 고품질 이미지를 제작할 수 있습니다. 13 에는 기본 광 장치와 별도의 셔터 제어 장치가 장착 된 듀얼 헤드 디자인이 있습니다. 주 광 장치에는 얇은 웨이퍼에 높은 처리량을 제공하는 주파수 2 배의 KrF Excimer 레이저가 포함되어 있습니다. 또한 조정 가능한 초점 렌즈 2 개 (광원 용) 와 투영 렌즈 용 (투영 렌즈 용) 가 포함되어 있어 광도, 반점 크기, 초점의 정확한 제어가 가능합니다. 프로젝션 렌즈는 웨이퍼에서 고성능 리소그래피를 위해 설계된 3 그룹 아스페릭 렌즈입니다. 주 광학 장치에는 노출 단계 (exposure stage) 가 포함되어 있으며, 이 단계에는 모터 드라이브 및 웨이퍼 지원 메커니즘이 있습니다. "셔터 '제어 장치 는" 레이저' 의 "셔터 '속도 를 제공 하여 노출 시간 을 정확 히 제어 한다. 셔터 암 메커니즘과 정확한 노출 제어를 위한 시간 기반 셔터 제어가 포함되어 있습니다. 노출 시간은 0.2m에서 5ms로 조정 할 수 있습니다. CANON 13에는 X-Y 자동 고장이 포함되어 있으므로 전체 노출 영역에서 웨이퍼 스캔이 가능합니다. 모든 방향에서 최대 2000mm/sec까지 스캔 할 수 있습니다. X-Y 자동 고장은 매우 정확한 피드백 모터에 의해 구동됩니다. 또한 X-Y 동기 제어 데이터 출력 회로가 포함되어 있어 셔터 제어 장치 (shutter control unit) 와 자동 (autostage) 간의 정확한 동기화가 가능합니다. 13 은 또한 매우 정확한 정렬 및 포커스 제어 (focus control) 장비를 갖추고 있어 이미지의 정확성을 보장합니다. 고정밀도 자동 정렬 시스템 (photomask) 을 통해 레이저를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 초점 제어 장치 (focus control unit) 는 투영 렌즈가 웨이퍼에 정확하게 초점을 맞추도록 설계되었습니다. 캐논 13 (CANON 13) 은 최고의 정확도와 처리량을 위해 설계된 고급 고정밀 리소그래피 머신입니다. 기능과 컨트롤을 통해 매우 정확하고 고품질 이미지를 만들 수 있습니다. 넓은 영역을 빠르게 스캔하는 기능, 노출 시간과 정확도를 정확하게 제어하는 기능, 고품질, 신뢰성 있는 리소그래피 (lithography) 솔루션이 필요한 사람들에게 완벽한 선택이 됩니다.