판매용 중고 CANNON No210 #9284908

CANNON No210 웨이퍼 스테퍼는 집적 회로의 고정밀 리소그래피에 사용되는 최첨단 반도체 리소그래피 도구입니다. 스캐너 유형 마스크 정렬기 (scanner-type mask aligner) 는 기판 및 사진 마스크에 대한 패턴을 완전하게 자동화되고 안정적으로 정렬하여 빠르고 정확한 사진 해설을 가능하게 합니다. 장치의 스캐너 기능은 최대 1.2nm 해상도와 42x42mm (수직 X-Y 평면) 의 샷 영역을 제공합니다. 또한, 사용자는 멀티 레이어 애플리케이션을 위해 최대 6 개의 노출 헤드를 마운트할 수 있으며, 카메라의 다양한 옵토 (opto) 기계적 요소를 동시에 구성할 수 있습니다. CANON NO210에는 여러 구성으로 작동할 수있는 마이크로 스테이지 스캔 기능이 있습니다. 단발 스캐닝 (Single-Shot Stage Scanning) 은 각 이미지 필드의 전체 패턴 커버리지를 한 번에 활성화하는 반면, 다중 필드 스캔은 여러 부품에서 필드 노출을 분리하고 각 섹션에서 더 높은 노출을 허용하여 이미지 및 피쳐 정확도를 향상시킵니다. 또한 "웨이퍼 '스테퍼 에는 자동 작업 을 위한 여러 가지 특징 이 갖추어져 있다. 자동 노출 제어 (Automated Exposure Control) 는 노출 과정에서 노출 매개변수를 지속적으로 조정하는 반면, 자동 포커스 조정은 전체 웨이퍼 필드에서 높이와 너비 모두에서 최적의 포커스를 유지합니다. 노출 프로세스 전반에 걸쳐 정확성과 안정성을 보장하기 위해 장치는 자동 조명 제어 및 DRV (design-rule-check) 보정도 제공합니다. 요약하면, CANON CANNON No210은 정교하고 포괄적 인 웨이퍼 스테퍼로, 집적 회로의 빠르고 정확한 노출을 수행 할 수 있습니다. 스캐너 (scanner) 와 마이크로 스테이지 (micro-stage) 기능을 결합하여 광범위한 노출과 해상도를 실현하는 반면, 자동화된 기능은 안정적이고 일관된 노출 프로세스를 제공합니다.