판매용 중고 C SUN Stepper #293669782

C SUN Stepper는 photolithography를 사용하여 집적 회로를 패턴화하는 데 사용되는 고급 웨이퍼 Stepper입니다. C SUN Stepper는 집적 회로 디자인의 정확한 고해상도 노출을 조명하도록 설계되었습니다. 기계적 (mechanical), 이미징 (imaging) 및 조명적 (illumination) 컴포넌트로 구성되며 정확한 피쳐 크기와 반복 가능한 정렬이 가능합니다. 기계적으로 Stepper는 레티클 (또는 마스크) 을 보유한 레티클 스테이지와 웨이퍼 스테이지 (웨이퍼 스테이지) 로 구성된 4 사분면 정렬 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 반자동 및 자동화를 지원하며 최대 8 "크기의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 또한 C SUN Stepper는 스텝 앤 리피트 정렬 및 필드 스티칭을 지원합니다. 스테퍼 (Stepper) 는 이미지 이동 및 확대/축소 작업을 위해 고정밀 모터와 함께 고대조 광학 머신을 사용하는 이미징 장치를 제공합니다. 0.15 ~ 0.55의 가변 숫자 조리개 (NA), 최대 해상도 0.4 미크론 및 0.25 미크론의 이미지를 지원하는 고수치 조리개 (HNA) 렌즈가 특징입니다. 이 도구에는 조정 가능한 레티클 포커스 메커니즘도 포함되어 있습니다. C SUN Stepper는 또한 다중 영역 초점 제어를 지원하는 가변 조명 자산 (variable-illumination asset) 과 일관된 초점 깊이를 가진 대형 필드 균일 성을 갖추고 있습니다. 가변 조리개 및 가변 감쇠 셔터를 사용하여 조명 프로파일을 세밀하게 조정하여 최고의 노출 성능을 제공합니다. 스테퍼 (Stepper) 는 또한 긴 생산 실행에서도 높은 수준의 반복성을 보장하는 자동 정렬 기능을 제공합니다. 전반적으로 C SUN Stepper는 집적 회로를 정확하고 안정적으로 패턴화하도록 설계되었습니다. 이미징 (Imaging), 조명 (Illumination) 및 정렬 (Alignment) 컴포넌트의 조합으로 생산 등급 집적 회로를 제작할 수있는 안정적인 선택입니다.