판매용 중고 ASML XT 1950Hi #293802187
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ID: 293802187
웨이퍼 크기: 12"
Lithography system, 12"
Load ports laser
Hard Disk Drive (HDD)
Immersion lithography: 193 nm
Resolution capability: 38 nm
Overlay:
SMO: 4 nm
MMO: 7 nm
Throughput: 148 WPH
CYMER XLR-560i
Resolution: 193 nm
Laser: 60 W / 6 kHz with E95 Bandwidth monitoring
Controls: UNIX / SUN Architecture
Aerial XP Illumination system
P type: Illumination alignment
Alignment: Blue align with narrow mark
Focus and Field-by-field levelling
Focus spot monitoring
Circuit Dependent Focus Edge Clearance (CD-FEC)
Dual E-Chucks
LS-MATCH2 (XT) Image streaming
Overhead reduction: 1 and 2
Productivity Enhancement Package (PEP)
In-situ metrology: Sensor module
UNICOM XT: Dose mapper ArF
(15) QUASAR XL Slots
Reticle shape correction
2DE Grid calibration
Twinscan overlay package
Water cooling for electronics cabinet
Integrated Reticle Library (IRL-XP) for H-SPEC Systems
Integrated Reticle Inspection System (IRIS-XT)
Reticle streaming: Spotless G and H
Twinscan Grid mapper
TEAL PCDU-XT1900 Distribution unit
FSM flex package
Aux port 300 mm FOUP / 25 Wafers
Reticle with defect: 40 nm
SMASH XY
ZEISS Starlight: 1950
XCDA Gas purification system:
Purifier canister: Optics series, 10 MH, SS
XCDA Gas purification system bypass manifold:
Manifold 3 Valve: 10 m
Filter housing
Cabinet
ESI Vaporsorb: EX2600
Filter set
Throughput: 148 WPH
CE Marked
Laser power: 60 W
Power conditioner: 135 kVA.
ASML XT 1950Hi는 대용량 반도체 제조를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 사진전자기술 (Photolithography Equipment) 의 선도적 제공자인 ASML (ASML) 이 제작한 이 장비는 패터닝 기술의 최신 발전을 의미하며, 고급 반도체 장치 생산에 극도의 정확성과 다재다능성을 제공합니다. ASML XT1950HI의 중심에는 고급 플랫폼 (advanced platform) 이 있는데, 이 플랫폼은 혁신적인 하드웨어 및 소프트웨어 솔루션을 결합하여 임계 치수 제어에서 하부 나노 미터의 정확성을 가능하게합니다. 이 정밀도 수준은 기능 크기가 점점 줄어들고 복잡성이 커지는 차세대 반도체 (semiconductor) 장치를 생산하는 데 필수적입니다. XT 1950HI의 주요 특징 중 하나는 고급 조명 시스템 (Advanced Lightumination System) 으로, 다중 극 조명 기술을 사용하여 전체 웨이퍼 표면에서 균일하고 고해상도 패턴을 달성합니다. 이 단위는 광도 (light intensity) 와 각도 (angle) 를 정확하게 제어하여 충실도가 높은 복잡한 패턴의 패턴을 가능하게 합니다. XT1950HI에는 고급 조명기 (Advanced Illumination Machine) 외에도 하부 나노 미터 포지셔닝 정확성을 지원하는 고정밀 스테이지 툴이 장착되어 있습니다. 이 단계 에셋을 사용하면 웨이퍼를 레티클 (reticle) 에 정확하게 정렬할 수 있으므로 마스크에서 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 로 패턴이 정확하게 전송됩니다. 성능을 더욱 향상시키기 위해 ASML XT 1950Hi (ASML XT 1950Hi) 는 노출 중 최적의 이미지 품질을 유지하기 위해 투영 렌즈의 초점을 빠르게 조정하는 고속 자동 초점 모델을 갖추고 있습니다. 이 기능은 전체 웨이퍼 (wafer) 전체에서 높은 해상도와 균일성을 달성하는 데 필수적이며, 특히 깊이가 다양한 복잡한 구조를 패턴화할 때 필수적입니다. ASML XT1950HI 는 또한 고급 레티클 처리 장치 (reticle handling equipment) 를 장착하여 운영 실행 중 레티클을 빠르고 정확하게 교환 할 수 있습니다. 이 기능은 대용량 제조 환경에서 다운타임을 최소화하고 생산성을 극대화하는 데 매우 중요합니다. 생산성 측면에서 XT 1950Hi (XT 1950Hi) 는 높은 처리량을 제공하여, 제조업체가 뛰어난 수율과 안정성으로 시간당 많은 수의 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 이 높은 처리량은 빠른 노출 시간 (fast exposure time), 효율적인 단계 이동 (stage movement) 및 생산 프로세스를 간소화하는 고급 자동화 기능의 조합을 통해 달성됩니다. 또한 XT1950HI 는 매우 유연하게 설계되었으며, 다양한 패턴화 요구 사항을 충족할 수 있도록 다양한 레티클 (reticle) 크기와 유형을 지원합니다. 이러한 유연성을 통해 제조업체는 로직 (logic) 및 메모리 (memory) 장치에서 고급 패키징 (packaging) 기술에 이르기까지 다양한 애플리케이션 세트에 시스템을 사용할 수 있습니다. 전반적으로 ASML XT 1950HI는 웨이퍼 스테퍼 기술 (wafer stepper technology) 의 상당한 발전으로, 고급 반도체 장치 생산을위한 업계 최고의 정밀도, 성능 및 생산성을 제공합니다. 최첨단 기능과 기능으로, 이 장치는 가장 까다로운 반도체 제조 환경에 적합하며, 여기서 극도의 정확도와 효율성이 가장 중요합니다.
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