판매용 중고 ASML XT 1700Gi #9299038

ASML XT 1700Gi는 고급 웨이퍼 스테퍼로, 정확한 내부 웨이퍼 패턴화를 위해 설계되었습니다. 트윈 렌즈 투영 기둥과 맞춤형 조명 작업 모듈이 특징이며, 숫자 조리개 (NA) 는 0.75, 필드 크기는 최대 1250 x 1750mm입니다. 두께 6 ~ 220mm 범위의 노출에 사용하도록 설계되어 있으며, 광범위한 처리 범위를 제공합니다. 스테퍼의 이미징 시스템은 고급 투영 리소그래피 (advanced projection lithography) 를 사용하여 패턴 이미지를 기판에 투영합니다. 또한 에너지 범위가 6-23mJ/cm2이며, 대부분의 새로운 패턴화 재료에 적합합니다. 또한, 3D 반 등방성, 편광 교정 판이 장착되어 있어 UV (Ultra-Violet) 노출에서 정확성과 반복 성을 제공 할 수 있습니다. 이 시스템은 사용자 친화적이고 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 에 의해 제어됩니다. GUI 는 복잡한 작업 순서를 제어할 수 있으며, 다른 모듈과 통합하여 패턴 생성, 진단 추적 등의 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 고속 패턴 인식 (High-Speed Pattern Recognition) 옵션이 장착되어 있어 발생할 수 있는 오류를 추적하고 수정할 수 있습니다. 스테퍼는 또한 최대 200mm/s의 속도에 도달 할 수있는 고출력 웨이퍼 스테이지를 자랑합니다. 또한 스테퍼는 다양한 구성으로 제공되며, 크기 및 애플리케이션 요구 사항에 따라 사용자 정의할 수 있습니다. 환경 관리 시스템 (Environmental Control System) 이 장착되어 있어 스테퍼 내부의 공기 청결도를 모니터링하고 유지합니다. 이 모니터링 (monitoring) 기능을 사용하면 오염 수준을 낮게 유지할 수 있으므로 기계가 안전하고 효과적으로 실행할 수 있습니다. XT 1700Gi (XT 1700Gi) 는 고급 웨이퍼 스테퍼로, 넓은 노출 범위의 정확한 내부 웨이퍼 패턴을 생성 할 수 있습니다. 다재다능한 조명 모듈 및 3D 반 등방성 편광 교정 플레이트는 정확성과 반복 성을 보장합니다. 사용자 친화적 인 GUI 및 환경 제어 시스템 (Environmental Control System) 과 결합된 조정 가능한 속도는 시스템을 모든 웨이퍼 패턴화 (wafer patterning) 작업에 대해 안정적이고 효율적인 선택으로 만듭니다.