판매용 중고 ASML XT 1700FI #9391547
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ASML XT 1700FI 웨이퍼 스테퍼 (ASML XT 1700FI wafer stepper) 는 반도체 구성 요소 제조업체에 최고 수준의 정확성과 신뢰성을 제공하기 위해 만들어진 고급 석판화 장비입니다. 다양한 집적 회로 마스크 메이크 및 웨이퍼 크기에 걸쳐 리소그래피 응용 프로그램을 수행하도록 설계되었습니다. 독점적 인 고해상도 이미징 시스템을 활용하는 ASML XT1700FI는 매우 강력하고 정확한 광학 석판화 처리 속도와 이미지 해상도 0.30m를 달성합니다. XT: 1700FI의 중심은 9 개의 고저항 투영 렌즈를 포함하는 독점적 인 레이저 투영 기둥입니다. 이 장치에는 나스미스 (Nasmyth) 형 거울 이동 장치가 포함되어 있으며, 이를 통해 투영 기계가 웨이퍼를 가로 질러 수평으로 이동할 수 있습니다. 투영 도구에서 고효율 광학을 거울 이동 메커니즘과 결합하여 ASML XT 1700 FI는 최대 200mm 웨이퍼에서 정확하고 균일 한 이미징 커버리지를 생성 할 수 있습니다. 강력한 투영 자산 외에도 ASML XT: 1700FI에는 "All Focus" 라는 고유 한 기능도 포함되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 웨이퍼 스티어링 모델의 포커스를 전체 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 상에서 조정할 수 있습니다. 이를 통해 장비는 투영된 이미지를 원하는 웨이퍼 (wafer) 프로파일에 맞게 조정할 수 있으며, 탁월한 결함이 없는 이미지를 제작하는 데 도움이 됩니다. XT1700FI 의 추가 기능은 고도로 발전된 제어 시스템 (control system) 인데, 이를 통해 사용자는 이 장치를 조정하여 사용 중인 웨이퍼 (wafer) 재료의 특정 한계를 충족할 수 있습니다. 사용자는 Control Machine 의 도움을 받아 높은 처리율 (Throughput Rate), 짧은 주기 (Cycle), 향상된 프로세스 반복성을 얻을 수 있습니다. 마지막으로, XT 1700 FI는 반도체 제조에 필요한 최고 수준의 안정성과 반복성을 보장하기 위해 최고의 건설 표준에 구축되었습니다. 이 도구는 또한 듀얼 에셋 컨트롤러 (Dual Asset Controller) 와 같은 임베디드 안전 기능 (Embedded Safety Features) 을 가지고 있어 하나의 구성 요소가 고장나더라도 모델이 계속 제대로 작동할 수 있습니다. XT 1700FI는 최첨단 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 웨이퍼 생산에서 고해상도 이미징 및 반복 가능한 응용 프로그램을 제공하도록 설계되었습니다. 첨단 Optic 및 Electronic을 통해 사용자는 다양한 IC (Integrated Circuit) 어플리케이션에서 향상된 속도와 생산성을 얻을 수 있습니다. 최고 품질의 표준에 맞춰 제작된 ASML XT는 안정성, 성능, 내구성이 뛰어난 리소그래피 장비입니다.
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