판매용 중고 ASML XT 1700FI #9260261

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ID: 9260261
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Immersion ArF Scanner, 12" Gas line: CO2, F2/Ar/Ne, Ar/Xe/Ne Damaged parts: Power supply: +5v/+15v-15v, 14/4/4a PSDC 250/25 Premium 24VSAFE PAAC 450/20 R PPCA 4-Channels power AMP CTRL01 PPCA LISAF 3p Assy PSDC 59/22 Assy PADC 100/18 Assy PAAC 550/25 1100V-FET assy Multi channel PAC PPCA Ethernet switch 10/100mb 24x Phase measurement board phase2 SHB ECAB component box MCCB2 P3M7448B MK2.1 Assy HEIDENHEIN Interpol PPCA v2.2 High encorder resoresolution BRD 3 WH PID MK3 PPCA RH Lios latch MK3+PPCA SW4.1+ Shift-in shift-out CTRL3.1 RH Iris XT PPD assy RS LNS Coo (LCSA3) assy 2006 vintage.
ASML XT 1700FI는 반도체 기계 공급 업체 ASML에서 설계 및 제조 한 고속 웨이퍼 스테퍼입니다. "실리콘 웨이퍼 '기판 은 시속 1700 개 까지 움직 일 수 있으며, 그것 은 반도체 생산 을 빠르고 효율적 으로 확장 하려고 하는 회사 들 에게 이상적 인 해결책 이다. ASML XT1700FI는 대규모 집적 회로 (LSI) 및 매우 대규모 집적 회로 (VLSI) 제작 프로세스에 안정적이고 높은 수율 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 스테퍼에는 기어 리니어 모터, 동적 다이렉트 드라이브 모터, 정밀 위치 계산기 (precision positioning actuator) 의 조합을 사용하여 시간당 최대 1,700 웨이퍼의 정밀 위치 및 동작을 수행하는 고해상도 스테이지가 장착되어 있습니다. XT: 1700FI는 선형 모터와 다이렉트 드라이브 모터에서 향상된 감속 비율을 제공하여, 드라이브 토크 전송 속도를 크게 높여 처리량을 극대화하고 비용을 절감했습니다. 또한 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 를 위한 장비의 소프트웨어 내에서 다양한 자동화된 프로세스 제어 (Automated Process Control) 기능을 통해 웨이퍼 처리 주기 내내 포지셔닝 및 드라이브의 작은 차이를 감지하고 보완할 수 있습니다. XT1700FI는 ASML 독점 고급 웨이퍼 시험 시스템 (Advanced Wafer Examination System) 에 의해 구동되며, 이는 광학, 기계 및 제어 전자 요소의 배열을 결합하여 스테퍼의 정확한 모션 제어에서 모든 작동 편차를 감지하고 수정합니다. 또한, 이 장치의 광범위한 검사 도구를 통해 전체 프로세스 전반에 걸쳐 포괄적 인 웨이퍼 (wafer) 검사를 할 수 있습니다. XT 1700 FI는 또한 오염 및 표류 (drift) 를 최소화하도록 설계된 온도, 습도, 공기 흐름 제어 기능이 내장되어 있어 일관된 출력을 보장하는 혁신적인 환경 제어 기계를 갖추고 있습니다. 또한 고급 빔 스캐너 가드 (beam-scanner guard) 도구를 사용하여 추가 보호 기능을 구성할 수 있습니다. XT 1700FI 웨이퍼 스테퍼는 수요가 많거나 정확한 웨이퍼 포지셔닝이 필요한 기업에 이상적인 고속, 안정적인 웨이퍼 포지셔닝 자산입니다. 전용 웨이퍼 검사 모델과 환경 제어 기능을 갖춘 ASML XT 1700 FI (ASML XT 1700 FI) 는 반도체 생산 운영을 빠르고 정확하게 확장하려는 기업에게 탁월한 선택입니다.
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