판매용 중고 ASML XT 1400F #9351329

ASML XT 1400F는 반도체 처리에 사용되는 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. IC (Integrated Circuit) 칩을 제작하기 위해 미세한 패턴을 만들기 위해 기판 웨이퍼에 빛을 투영하는 마스크 프로젝터입니다. 이를 통해 트랜지스터 (transistor) 와 논리 게이트 (logic gate) 와 같은 칩의 여러 핵심 컴포넌트를 단일 리소그래피 (lithography) 단계에서 생성할 수 있습니다. XT 1400F (XT 1400F) 에는 투사 프로세스의 탁월한 정확성과 정확성을 제공하기 위해 여러 기능이 장착되어 있습니다. 그것은 깊은 자외선 (DUV) -405nm 빛 파장을 사용하여 기판에 서브 미크론 패턴을 만듭니다. 이 리소그래피 시스템의 최대 해상도는 약 1.4 미크론입니다. 그것의 투영 광학은 수차를 줄이고 매우 정밀한 패턴을 생산하도록 설계되었으며, SLM (Spatial Light Modulation) 장치는 기판을 패턴화하는 데 사용되는 빛을 정확하게 형성하고 제어 할 수 있습니다. 또한 ASML XT 1400F에는 여러 가지 고급 모션 제어 기능이 있습니다. 여기에는 빠르고 정확한 포지셔닝이 가능한 이중 단계 현미경 단계가 포함됩니다. 또한 정밀하고 반복 가능한 움직임을 제공 할 수있는 여러 모터가 장착되어 있습니다. 진공 그리퍼 시스템 (vacuum gripper system) 도 프로세스 전반에 걸쳐 기판을 안전하게 보관할 수 있습니다. 또한, XT 1400F (XT 1400F) 는 신뢰성이 높은 고급 제어 알고리즘을 가지고 있으며, 이 알고리즘을 사용하여 리소그래피 프로세스가 매번 일관되게 조정할 수 있습니다. 또한 복수 노출 (multiple exposure) 을 수행 할 수 있으며, 각 노출은 최적의 결과를 위해 조정 가능한 매개변수를 갖습니다. 또한, 결함으로 인해 생산되는 비기능 칩 수를 최소화하는 지능형 결함 감지 시스템 (Intelligent Defect Detection System) 과 통합됩니다. ASML XT 1400F 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 고품질 집적 회로 칩 생산에 필수적인 도구이며, 다양한 기판에서 최대 1.4 미크론 해상도의 매우 정밀한 서브 미크론 패턴을 생산할 수 있습니다. 탁월한 기능과 고급 제어 알고리즘을 갖춘 XT 1400F (XT 1400F) 는 일관되게 작동하는 칩의 높은 수율을 보장하며, 오늘날 반도체 제작에서 중요한 도구입니다.