판매용 중고 ASML XT 1400F #9232233

ASML XT 1400F는 고객에게 탁월한 정확성과 성능을 제공하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 자동화된 시스템은 최신 반도체 제작 어플리케이션의 가장 엄격한 패턴화 (patterning) 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 스테퍼에는 15kV 전자 빔 (e-beam) 발전기와 통합 컴퓨터 지원 설계 (CAD) 가 장착되어 있습니다. 웨이퍼는 스테이지로 내려지고 e- 빔의 0.2 미크론 조리개를 통해 이미지화됩니다. 전자 빔은 실리콘 웨이퍼 표면에 향하는 미세 집중 이온 빔을 생성합니다. 그런 다음, 흡수 된 전하가 컴퓨터에 의해 정확한 패턴으로 변환됩니다. XT 1400F는 0.26 x 0.23 미크론의 피치 크기로 스테핑할 수 있으며, 최대 스캔 속도는 80,000 라인/초입니다. 향상된 선형성, 낮은 왜곡 및 낮은 반복성으로 설계되었습니다. 또한 "웨이퍼 스테퍼 '" 시스템' 은 최적 의 온도 를 유지 하기 위하여 냉각 장치 로 설계 되어 최고 의 성능 을 보장 한다. ASML XT 1400F는 고도로 최적화 된 렌즈, 통합 이온 억제 및 향상된 조명 제어를 특징으로합니다. 사용자에게 스테퍼 (stepper) 를 사용자 정의하고 워크플로 효율성을 향상시킬 수 있는 애플리케이션별 유틸리티 제품군을 제공합니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼에는 강력한 데이터 로깅 인터페이스 (data logging interface) 와 심각한 오류 감지 기능이 장착되어 있습니다. XT 1400F는 매우 최신의 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 기술로, 매우 정밀하고 안정적인 성능을 제공합니다. 고급 기능과 기능을 갖춘 ASML XT 1400F (ASML XT 1400F) 를 통해 반도체 패턴화 기술의 선두에 설 수 있습니다.