판매용 중고 ASML XT 1400E #9383074

ASML XT 1400E는 ASML의 생산적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 생산성과 성능을 모두 고려하여 설계된 모듈식 석판화 (lithography) 플랫폼입니다. 특히 고급 노드 리소그래피 (lithography) 를 위한 3D 패키징, 장치 스케일링 등 어려운 대용량 생산 어플리케이션에 적합합니다. XT 1400E 웨이퍼 스테퍼는 병렬, 다중 파장 조명을 생성하여 초점 깊이를 높이고 패턴 배치 정확도를 높인 고급 고출력, 다중 필드 eXtended Source (X-Source) 를 기반으로합니다. 또한 최첨단 4 단계 사전정렬 (prealignment) 장비가 장착되어 여러 노출에서 반복 가능하고 뛰어난 정확성을 보장합니다. ASML XT 1400E는 또한 ASML 하이퍼 NA 광학을 특징으로하며, 이는 193nm 파장 제한과 더 작은 선폭까지 고해상도 이미징을 가능하게합니다. 이를 통해 고급 노드 기술에 대한 높은 수율 및 리소그래피 품질이 보장됩니다. 또한, 플랫폼에는 향상된 일관성 대역폭을 제공하는 Zoom Lens 그룹이 장착되어 있습니다. XT 1400E는 또한 뛰어난 온도 안정성과 CD 균일성 제어 기능을 제공합니다. 이것은 통합 열 제어 시스템에 의해 수행됩니다. 이것 은 기계 온도 가 다양 하더라도, 그 장치 의 "이미징 '" 파라미터' 를 엄밀 히 보호 하여 일관성 있게 높은 리소그래피 성능 을 보장 한다. ASML XT 1400E의 다른 기능으로는 모든 필수 석판 제어 기능을 단일 플랫폼으로 통합하는 APD (Advanced Pattern Development) 소프트웨어가 있습니다. 따라서 패턴 데이터를 쉽게 준비할 수 있으며, 일반적으로 고급 노드 운영 (advanced node production) 과 관련된 많은 시간이 소요되는 프로세스를 제거합니다. XT 1400E는 까다로운 리소그래피 응용 프로그램에서 일류 성능을 보장 할 수있는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 빠른 처리량, 뛰어난 이미지 처리 품질, 강력한 노출 제어 (Exposure Control), 대용량 초점 (Depth of Focus) 기능, 종합적인 소프트웨어 지원 등의 조합으로, 이 플랫폼은 리소그래피의 경계를 넓히려는 고객에게 이상적인 선택입니다.