판매용 중고 ASML XT 1400E #9381463

ASML XT 1400E는 고속, 대용량 웨이퍼 생산을 위해 특별히 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 생산 마스크 수준 0.7 (가장 정확한 웨이퍼 생산에 대해 +/- 0.8 미크론) 을 제공합니다. 이 시스템은 이중 필드 스캐너 (옵션) 를 사용하여 운영 처리량을 최대화할 수 있도록 설계되었습니다. 따라서 별도의 필드 (field) 수를 한 번에 증가시킬 수 있습니다. 이 장치는 두 가지 주요 광학 요소를 기반으로합니다. 소스에서 방출 된 빔 (beam) 용 빔 배달기와 노출을위한 엑시머 레이저 (excimer laser). 빔 전달 도구는 f-Theta 망원경 자산을 사용하여 최소 수차로 최고 수준의 정확도를 보장합니다. 이렇게 하면 웨이퍼 왜곡이 최소화되고, 레티클 이동을 최소화하면서 처리량이 높아집니다. 노출 하위 시스템에는 1200W 엑시머 레이저 레이저 (excimer laser) 가 포함되어 있어 더 빠른 웨이퍼 이미징을 위한 업계 최고의 전력 수준을 제공합니다. 이 모델은 사용자 친화적 인 운영자 인터페이스를 사용하여 컴퓨터를 통해 작동합니다. "레이저 '는" 프로그래밍' 이 가능 하지만, 제조업자 들 이 맞춤형 노출 을 필요 로 하는 것 은 수동적 으로 조정 할 수 있다. XT 1400E는 최대 생산 수율을 위해 설계되었습니다. 장비는 레이저 전력을 실시간으로 모니터링하고 조정할 수 있으며, 가장 효율적인 웨이퍼 (Wafer) 생산을 위해 노출 시간을 자동으로 조정할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 처리를 위한 통합 로드 락 (load lock) 을 제공하여 오염 가능성을 최소화합니다. 이 시스템에는 자동 열 처리 장치 (automatic column handling unit) 도 포함되어 있어 생산 중 최고 정확도를 보장합니다. 표준 운영 기능 외에도 ASML XT 1400E 에는 다운타임을 줄이기 위해 설계된 추가 기능이 포함되어 있습니다. 이 시스템에는 자동화 보고 툴 (Automation Reporting Tool) 이 포함되어 있어, 운영자가 성능을 모니터링하고 잠재적인 문제를 신속하게 감지할 수 있습니다. 또한 통합 진단 자산 (Diagnostic Asset) 을 통해 엔지니어는 신속하게 유지 관리 및 체크 업 작업을 수행할 수 있습니다. XT 1400E (XT 1400E) 는 매우 정확하고 강력한 웨이퍼 스테퍼로, 다운타임 및 최대 생산량을 최소화하면서 업계 최고의 성능을 제공합니다. 생산 마스크 수준은 0.7, 초점 정확도는 0.8 미크론으로, 대용량 생산 라인에 적합합니다.