판매용 중고 ASML XT 1400E #9289674

ASML XT 1400E
제조사
ASML
모델
XT 1400E
ID: 9289674
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
Lithography system, 12" In-line SMIF Automation online component: SECE Reticle size, 6" Wafer type: Notch Inline flow: Right CYMER XLA-165 Laser LED WL and RL: WL: Type 3 RL Library: Left PPD Type: PPD2 Lens and Illumination: BMU Type: Standard Appeture INA: Conv: 0.95 Annual: σAnn.(0.950/0.633) Lens: PL Purge Stage: SCAN Speed: 500 mm/sec Chuck: Pin chuck Pin chuck: TIS Align. 2005 vintage.
ASML XT 1400E (ASML XT 1400E) 는 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 반도체 제조 산업에서 제작 공정의 반도체 웨이퍼로 패턴을 전송하는 데 사용되는 리소그래피 머신의 한 유형입니다. 고도의 처리량 (throughput) 과 정확성 (accuracy) 을 달성하는 한편, 긴 제품 수명을 달성하도록 설계된 고급 장비입니다. XT 1400E는 극자외선 (EUV) 리소그래피를 사용하여 웨이퍼 표면의 포토 esist 레이어를 패턴화합니다. 이 프로세스는 빠른 펄싱 레이저 빔 (pulsing laser beam) 을 사용하여 웨이퍼에 빛과 그림자 패턴을 생성하여 회로 경로를 생성합니다. 또한 압전 동작 시스템 (piezoelectric activation system) 을 사용하여 빛의 패턴에 상대적으로 빠르고 정확하게 웨이퍼를 이동합니다. ASML XT 1400E (ASML XT 1400E) 는 혁신적인 개방형 아키텍처 설계를 통해 리토그래피 유닛을 특정 요구에 맞게 신속하게 사용자 정의할 수 있습니다. 예를 들어, 여러 스테퍼 헤드를 지원하도록 구성하여 여러 리소그래피 (lithography) 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한 프로세스 제어, 기계 진단 및 레시피 사용자 정의를 위한 기본 기능이 포함되어 있습니다. XT 1400E (XT 1400E) 는 신뢰성이 높으며, 엄격한 상황에서도 높은 처리량과 반복 가능한 정확성을 제공하는 검증된 실적을 자랑합니다. 이 제품은 강력한 기술 기능을 갖추고 있으며, 반도체 리소그래피 업계의 처리량, 공구 정확도, 정밀 제어에 대한 엄격한 요구 사항을 충족합니다. 에셋은 바닥 스탠드에 설치되거나, 클러스터 모델에 내장될 수 있습니다. ASML XT 1400E에는 진단, 예측 유지 관리, 상태 모니터링 툴 (monitor tools) 이 장착되어 있어 컴퓨터를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 또한 문제를 신속하고 정확하게 해결할 수 있으며, 잠재적인 위험을 정확히 파악하고 '운영' 에 영향을 미치기 전에 '수정' 할 수 있습니다. 이 장비는 자동 로더 (Autoloader), 자동 유지 관리 루틴 (Automated Maintenance Routine) 및 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 같은 기능을 사용하여 사용 및 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. XT 1400E 는 강력하고 신뢰할 수 있는 툴로서, 반도체 제조 프로세스를 최적화하고 제품의 품질을 향상시키는 데 도움이 됩니다.
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