판매용 중고 ASML XT 1400E #9289671

ASML XT 1400E는 집적 회로의 석판 패턴화를 위해 반도체 산업에 사용되는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. XT 1400E는 정확성과 속도를 향상시키기 위해 6 축 non-SA constant scan (NASC) 단계와 같은 고급 기술을 사용합니다. 이 기계의 숫자 조리개는 0.55, 필드 크기는 최대 200mm입니다. 10 밀리초 미만의 노출 시간이 가능하며 5 nm 이내의 반복 성을 수행 할 수 있습니다. ASML XT 1400E 는 고급 회로 (Fine Line Circuit) 및 상호 연결 (Interconnect) 및 트렌치 (Trench) 와 같은 기능을 생성하기 위해 웨이퍼에 이미지와 노출이 저항되도록 특별히 설계되었습니다. 또한 다중 노출 다이 (multiple exposure die) 를 자동으로 정렬하고 설계에서 90 개 이상의 패턴 레이어를 오버레이할 수 있습니다. 이것은 복잡한 석판 노출 레시피의 필요성을 줄입니다. XT 1400E는 고급 조명 장비를 사용하여 노출 결과의 표면 거칠기를 줄입니다. 이것은 높은 펄스 레이저 및 'Super High NA' (SHNA) 오프 축 조명 시스템을 사용하여 가능합니다. 이렇게 하면 노출 강도를 동적으로 제어할 수 있으며 이미징 (image) 과 노출 (exposure) 정확도 모두에 대해 동적 정렬이 가능합니다. ASML XT 1400E에는 여러 가지 안전 기능이 내장되어 있습니다. 노출 위치에서의 내부 레이저 인터 록 (interlock) 은 레이저 노출의 위험을 줄이고 충돌 탐지 장치 (collision detection unit) 는 노출 요소의 예기치 않은 움직임을 검사합니다. 또한 XT 1400E는 작동 중 최적의 작동 온도, 습도 및 대기 질을 유지하기 위해 내장 환경 제어 기계를 갖추고 있습니다. 결론적으로, ASML XT 1400E (ASML XT 1400E) 는 세밀한 회로, 기능 및 상호 연결을 만들기 위해 웨이퍼에 이미지 및 노출 저항을 제공하는 고급, 고도로 정교한 웨이퍼 스테퍼입니다. 내장형 안전 기능, 고급 조명 도구, 환경 관리 자산 등을 통해 업무 시간, 시간, 시간, 시간, 시간 등을 원활하고 정확하게 파악할 수 있습니다.