판매용 중고 ASML XT 1400 #9304319

ASML XT 1400은 반도체 리소그래피에 사용되는 광학 스테퍼입니다. DUV (Deep Ultraviolet) 응용 프로그램을 위해 특별히 설계되었습니다. 스테퍼는 최대 200mm 크기의 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 패턴화할 수 있으며 마스크 및 레티클 생산을위한 안정적이고 효율적인 도구입니다. 이 기계는 처리량이 높으며, 디바이스 구성의 속도와 품질을 높이도록 설계되었습니다. 결과적으로, 출시 시간을 줄이고 웨이퍼 제작에 대한 수율을 증가시킵니다. 스테퍼에는 두 단계가 있습니다. 첫 번째 단계는 마스크 정렬에 사용되고, 두 번째 단계는 웨이퍼 정렬에 사용됩니다. 전체 이미지 필드에서 0.8 미크론의 해상도를 갖습니다. XT 1400 (XT 1400) 은 최대 1010mm 크기의 넓은 시야를 특징으로하여 더 큰 개체를 처리 할 수 있습니다. 그것 은 매우 효과적 이며 0.7 "미크론 '미만 의 중첩 정확도 를 낼 수 있는 역학 장치 를 가지고 있다. 이를 통해 정확한 패턴화와 더 높은 수율을 얻을 수 있습니다. 또한 고급 노출 제어 시스템 (Advanced Exposure Control System) 이 있으며, 프로세스 매개변수의 변동성을 줄이고 노출 필드에 대한 균일 한 용량을 유지합니다. 스테퍼에는 디포커스 (defocus) 와 이미지 왜곡 (distortion) 을 최소화하는 낮은 왜곡 스캐너가 있습니다. 또한 저항 코팅 모듈 (Resist Coating Module) 과 스핀 프로세서 (Spin Processor) 를 함께 사용하여 비용을 절감하고 효율성을 향상시킬 수 있습니다. 초점과 조명 안정성을 위한 안정화 장치 (Stabilizing Unit) 를 통해 결과의 일관성과 정확성을 보장할 수 있습니다. ASML XT 1400은 처리량과 정확도가 높은 고해상도 이미징을 지원합니다. 고급 광학, 역학 기계, 환경 친화적 인 조명 도구의 조합으로 고정밀 패턴화를 위한 완벽한 도구입니다. "머신 '은 사용 과 유지 가 쉽고, 신뢰성 있는 성능 은" 웨이퍼' 수율 이 극대화 된다.