판매용 중고 ASML XT 1400 #9259958

ASML XT 1400 (ASML XT 1400) 은 실리콘 웨이퍼에서 고급 장치의 정확한 패턴화를 위해 반도체 산업에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 현장에서 사용 가능한 최고 처리량을 제공하며, 단일 레시피 내에서 3,000 0.25 미크론 노출 레이어를 제공 할 수 있습니다. 모든 노출 된 마스크의 총 정확도를 보장하며, 오버레이 처리량은 15 나노 미터입니다. XT 1400 (XT 1400) 은 플럭스 출력이 높은 종합적인 저전압 조명 체계에 의해 구동되며, 이는 전력 소비량 및 최대 패턴 충실도를 최소화합니다. 또한 고급 소프트웨어 제품군 (Software Suite) 과 광 서브시스템 (Optical Subsystem) 을 갖추고 있어 디바이스 패턴의 효율성을 극대화할 수 있습니다. 최적화된 마스크 처리 알고리즘과 레이어 최적화 방법을 갖춘 ASML XT 1400 (ASML XT 1400) 은 리소그래피 주기 시간에 최적의 결과를 제공할 수 있습니다. 이 기계는 처리율이 가장 높은 웨퍼 (wafer) 패턴화를 위해 설계되었습니다. 자동 조리개 처리 시스템 (aperture handling system) 은 제작 중인 장치의 크기에 따라 조정됩니다. 또한, XT 1400은 수동 냉각 및 온도 보상과 함께 강력한 열 구성을 통합하여 레이어 균일성과 제로 드리프트 포커스 (zero-drift focus) 를 보장합니다. 고급 석판화 시스템 외에도 ASML XT 1400 (ASML XT 1400) 은 모든 위치나 방향에서 여러 개의 빔을 사용하여 제조를 완전히 새로운 수준의 정교하게 만듭니다. 차세대 자동 정렬 (Auto Alignment) 도구를 사용하면 노출된 웨이퍼와 원본 마스크 레이어를 비교할 수 있으며, 성능 반복성이 뛰어납니다. XT 1400 은 업계 최고의 성능을 자랑하는 스테퍼 툴로서, 탁월한 처리량, 신뢰성, 정확성을 자랑하는 차세대 제품입니다. 이 기계는 장치 제조 공장 (device manufacturing plant) 에 생산 라인을 설정할 수 있으며, 그렇지 않으면 불가능했을 것입니다.