판매용 중고 ASML XT 1250D #9366114

ASML XT 1250D는 깊은 자외선 (DUV) 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 레이저, 레티클, 렌즈를 포함한 최대 3 개의 광 구성 요소를 조정하여 1 자리 나노 미터 정확도로 정교한 마이크로 칩 패턴을 만듭니다. 뛰어난 동적 빔 컨트롤을 통해 업계 최고의 조명 균일성과 빠른 스캔 시간을 제공합니다. XT 1250D는 최대 속도가 7mm/s인 1600mm 사각형 프레임으로 구성됩니다. 진동 격리, 3 개의 폐쇄 루프 에어 베어링 시스템 및 Z- 버스 통합이 장착되어 있습니다. 이 제품은 15 나노 미터의 정확도를 유지하면서 최대 420cm의 장거리 스캔을 수행 할 수도 있습니다. 또한 커터를 사용자 정의하여 직경 125mm ~ 300mm 크기의 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. ASML XT 1250D에 있는 optics 어레이 모듈에는 4 개의 주요 목표와 2 개의 Sub Objectives 및 1 개의 Reticle Objectives가 있습니다. 전체 웨이퍼에 균일 한 조도를 제공하는 특별한 2X 0.5 NA 0.400 AR1이 장착되어 있습니다. 또한, LC (Liquid Crystal) 렌즈는 물체와 학생 사이에 배치되어 응용 프로그램의 필요에 따라 빛을 조절합니다. XT 1250D는 다양한 처리 단계에서 성능과 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 고유한 DBC (Dynamic Beam Control) 시스템을 통해 프레임 속도를 높이고 노출 시간을 단축할 수 있습니다. 또한, 이 제품은 20 nm 정도의 작은 기능을 생성 할 수 있으며, 오늘날의 고급 반도체 프로세스에 이상적입니다. ASML XT 1250D (ASML XT 1250D) 는 대용량 생산 설비에 일상적으로 사용되는 업계 최고의 최첨단 장비입니다. 성능, 정확성, 신뢰성을 결합하면 고급 석판화 (lithography) 프로세스에 이상적인 선택이 됩니다.