판매용 중고 ASML XT 1250D #293623548

ASML XT 1250D는 반도체 웨이퍼의 대용량 리소그래피에 사용되는 전체 필드 스텝 앤 스캔 장비입니다. XT 1200 시리즈 아키텍처를 기반으로 하며, 다양한 고객의 석판화 (lithography) 요구에 맞는 다양한 애플리케이션을 제공합니다. 이 기계는 고급 오버레이 및 과잉 노출 제어로 고밀도 패턴을 생성 할 수 있습니다. 높은 처리량, 낮은 TCO, 뛰어난 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. XT 1250D에는 고수치 조리개가있는 최첨단 광학 시스템 (Optics System) 이 있어 뛰어난 해상도와 화질을 제공합니다. 단일, 이중 및 3 중 노출을위한 3 가지 유형의 포토 esist를 수용합니다. 또한 안전 기능 및 내결함성 기능이 내장 된 고급 웨이퍼 처리 장치 (Advanced Wafer Handling Unit) 도 갖추고 있습니다. 이 스테퍼는 높은 기계적 무결성 (mechanical integrity) 과 안정성 (stability) 을 유지하도록 설계되었으며, 사용자에게 친숙한 진단 및 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 높은 처리량, 안정적인 패턴화, 빠른 시야 전환 (field-of-view switching) 을 가능하게 하는 고급 단계 및 이미징 제어 머신을 갖추고 있습니다. 리소그래피 광학은 고급 레이저 정렬 및 유지 보수 기능으로 인해 성능이 향상됩니다. 이 도구는 매우 자동화되어 있으며, 쉽게 단일-다중 필드 노출을 수행할 수 있습니다. 스테이지 궤적 제어는 높은 정밀도 스캐닝 서보 (scanning servo) 와 레이저 정렬 (laser alignment) 을 기반으로 하여 빠르고 정확한 정렬을 가능하게 합니다. ASML XT 1250D의 임베디드 소프트웨어 및 아키텍처는 고성능, 재현성, 균일성을 보장하도록 프로그래밍되었습니다. 즉, 안정적인 데이터 관리 기능을 제공하며 시간 절약형 재현성을 위해 프로세스 매개 변수를 쉽게 액세스할 수 있습니다. 외부 하드웨어를 통합하여 환경 및 열 안정성을 향상시킬 수도 있습니다. 이 기계는 또한 최적의 용량 제어를 위해 확장 가능한 출력 전원을 제공합니다. 전반적으로 XT 1250D는 강력한 고밀도 스텝 앤 스캔 (step-and-scan) 자산으로, 광학 제어를 통해 다양한 광석기 공정을 처리할 수 있습니다. 고급 옵틱은 폭넓은 노출 범위를 처리할 수 있으며, 임베디드 소프트웨어는 사용자에게 친숙한 작동, 빠른 처리량, 안정적인 패턴을 제공합니다.