판매용 중고 ASML XT 1250B #9293432
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ID: 9293432
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
ArF Scanner, 12"
SECS, GEM
FOUP
ASML Reticle handler
ASML Wafer handler
Operating system: OIU Unix
CYMER XLA-165 Laser
Main distribution cabinet
(2) Electro cabinets
Exhaust cabinet
Lens circuit water cabinet
Motor circuit water cabinet
Air control cabinet
Purge hood blower
2005 vintage.
ASML XT 1250B는 고도로 전문화 된 웨이퍼 스테퍼로, 고성능, 반도체 정밀 정렬 및 하위 미크론 기술을 위한 기타 집적 회로를 위해 설계되었습니다. 이 10 구역 스테퍼는 직경이 최대 12 인치 인 웨이퍼의 정확한 정확성과 생산 속도를 허용합니다. 특허를받은 "평면 내 (in-plane)" 스캔 기술을 통해 장비가 매우 균일하고 부드러운 표면으로 빠르게 스캔하고 웨이퍼를 제공 할 수 있습니다. 이 스테퍼는 또한 고급 5 축 정렬 시스템을 갖추고 있으며, 이는 생산 중 정확한 위치 지정 및 추적을 가능하게 합니다. ASML XT: 1250B는 스캔 중 지형 검출에 6 미크론 해상도와 254 nm 파장을 제공하는 고해상도 스캔 헤드를 사용합니다. 고해상도 광학 (Optic) 과 모터 제어 (Motor Control) 는 매우 부드러운 포지셔닝 동작을 제공하여 정확도와 생산속도를 증가시킵니다. 광학 장치 및 고해상도 스캐너 (scanner) 의 조합으로 생산 중 웨이퍼 레벨 레이저 검사 절차가 가능합니다. 이 장치는 강력하지만 효율적인 1.4GHz Intel Pentium 프로세서로 구동되며 32비트 Windows 98 운영 체제에서 작동합니다. 이 도구를 통해 최대 4대의 PC를 연결하여 손쉽게 확장 가능하며, 대규모 생산 작업을 수행할 수 있습니다. XT 1250B는 또한 내장된 자동화 자산으로 생산성을 자동화, 제어할 수 있는 독보적인 기능을 제공합니다. 자동화 모델을 사용하면 데이터 분석, 레시피 제어, 카메라 및 스캐너 정렬이 가능합니다. 자동화 장비를 업그레이드하여 더 많은 유연성과 추가 자동화 기능을 제공할 수 있습니다. XT: 1250B는 최고 수준의 웨이퍼 스테퍼로, 고속 생산과 정확성을 제공합니다. 반도체 (반도체) 와 서브미크론 (서브 마이크론) 생산에서 높은 정밀도를 필요로 하는 기업은 운영 및 자동화 속도가 빠르므로 장기적으로 크게 절감할 수 있다.
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