판매용 중고 ASML XT 1250 #9293667

ASML XT 1250은 마이크로 일렉트로닉 장치 제작을 위해 매우 정확한 사진 해설을 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 0.25 마이크로 미터의 해상도로 웨이퍼를 영상 할 수있는 스캔 현미경입니다. 스테퍼는 290nm UV 단파 범위 (short wavelength range) 에 맞게 특별히 구성되어 있으며, 이는 높은 정확도로 나노 구조 기능조차도 이미징 할 수 있습니다. ASML XT1250은 주 기본 스테이지와 2 차 하위 스테이지를 모두 갖춘 이중 스테이지 시스템입니다. 이 조합을 통해 시스템에서 고속 스캐닝 (Fast Speed Scanning) 을 수행하면서 이미지화된 패턴을 명확하게 파악하고 안정성을 유지할 수 있습니다. 기본 스테이지는 동작 제어를 위해 piezo-electrics에 의존하는 반면, 하위 스테이지는 정확한 위치를 지정하기 위해 closed-loop feedback motor를 사용합니다. XT 1250 은 또한 활성 장치 정렬 (active device alignment) 기능을 제공하여 나노미터 정확도로 인접한 장치의 위치를 확인합니다. 이 기계는 레이저 기반 제르니케 간섭계 (Zernike interferometer) 로 구동되어 노출 수준 감소에서 극도로 정밀한 이미징 및 패턴화를 가능하게합니다. 이 저전력 레이저는 열 드리프트로 인한 인공물 영상 가능성을 제거합니다. 또한, 스테퍼에는 내부 웨이퍼 이미징 (in-situ wafer imaging) 기능이 제공되어 이미지 오류를 실시간으로 감지하고 사용자가 그에 따라 조정할 수 있습니다. 또한 XT1250에는 고급 프로세스 제어 (process control) 및 광학 소프트웨어가 포함되어 있어 렌즈 동작, 입자 크기 분포, 이미징 해상도에 대한 정보를 제공합니다. 또한, 사용자는 이 소프트웨어를 사용하여 포커스 (focus) 및 숫자 조리개 (numical aperture) 와 같은 주요 매개변수를 조정하여 프로세스 성능을 최적화할 수 있습니다. 마지막으로, 시스템은 가능한 위험을 방지하기 위해 다양한 안전 기능 (예: 물체 감지, 눈 보호) 을 갖추고 있습니다. 전반적으로 ASML XT 1250 (ASML XT 1250) 은 다양한 기능을 갖춘 강력한 웨이퍼 스테퍼로, 정확한 이미징 및 고급 프로세스 제어를 보장합니다.