판매용 중고 ASML Twinscan XT 850F #9211428
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판매
ID: 9211428
웨이퍼 크기: 12"
KrF Scanner, 12"
Laser: CYMER ELS-7610K (40W)
Machine type: MES XT850F
Power: 400V.
ASML Twinscan XT 850F는 극단적 인 프로세스 조건에 견딜 수 있도록 설계된 정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 반도체 리소그래피 응용 분야에 사용되는 고해상도 웨이퍼 스테퍼입니다. XT 850F는 고화질 이미징 장비로 최대 28nm 밀도 피치 (pitch) 해상도까지 기능을 생산할 수 있습니다. 시스템의 광학은 고급 ACIS 기술을 사용하여 최고의 패턴 모서리 배치 정확도를 달성합니다. Twinscan XT 850F는 프로세스 균일성과 결함 제어를 보장하기 위해 자동화된 로트 수용 테스트를 갖춘 강력한 FOUP 기반 (Front Opening Unified Pod) 플랫폼을 사용합니다. 또한 고급 검사 장치 (Advanced Inspection Unit) 및 자동 웨이퍼 처리 시스템 (Automatic Wafer Handling System) 을 통해 사용자의 개입을 최소화하면서 빠른 로드 및 언로드 시간을 제공합니다. 스테퍼는 강력하고 안정적인 리소그래피 프로세스를 가능하게 하는 고급 프로세스 제어 (process control) 기술을 사용합니다. 웨이퍼 스테퍼는 데이터 분석 (data analysis) 과 다중 패턴 레이어 (multiple patterning layer fidelity) 의 조합으로 장치 복잡성 증가를 위해 설계되었습니다. XT 850F 의 강력한 기능 세트는 모든 처리량 환경에서 처리량을 최대화할 수 있도록 설계되었습니다. XT 850F 는 다양한 대화형 원격 지원 (Interactive Remote Support) 기능을 통해 설계되었으며, 사용자가 설정을 조정할 때 원격 지원 담당자의 혜택을 누릴 수 있습니다. 이 기능은 기술 문제 해결 시간 단축 (time to resold technical problem) 과 최적의 처리량 (optimal throughput) 을 보장하도록 설계되었습니다. ASML Twinscan XT 850F (ASML Twinscan XT 850F) 는 강력한 프로세스 제어 기술을 갖춘 다목적 웨이퍼 스테퍼로, 높은 정확도, 높은 처리량, 원격 지원 기능과 결합하여 고급 반도체 장치 제작을 위한 리소그래피에 이상적인 도구입니다.
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