판매용 중고 ASML Twinscan XT 1700i #293812028

ID: 293812028
빈티지: 2006
Argon Fluoride (ArF) Scanner 2006 vintage.
ASML Twinscan XT 1700i 웨이퍼 스테퍼는 반도체 웨이퍼에 정확한 패턴을 만드는 데 사용되는 고급 고해상도 리소그래피 머신입니다. 이 장비는 다양한 이미징 (Imaging) 및 조명 (Illumination) 기술을 사용하여 다양한 재료 및 레이어로 기판을 처리합니다. 고급 Twinscan XT 1700i에는 독점적 인 PSIL (Plasma Source Immersion Lithography) 이 장착되어 있으며, 이는 더 큰 기판에서 패턴을 만드는 데 매우 효율적이고 비용 효율적인 프로세스입니다. PSIL 은 높은 처리 속도를 유지하면서 미세한 기능을 정확하게 이미징할 수 있습니다. 또한 넓은 지역에 균일 한 조명을 제공하는 등대 광학 시스템 (Lighthouse Optics System) 을 사용하여보다 정확하고 정확한 이미징을 제공합니다. ASML Twinscan XT 1700i에는 x, y 및 z 축으로 대형 기판을 이동하여 3 차원으로 스캔 할 수있는 업계 최고의 Z 스캐너가 장착되어 있습니다. 이 향상된 정확도는 전체 기판을 캡처하고 결과 결함을 최소화합니다. 또한 장치 내의 Wafer Media Handler는 최대 7 개의 6 인치 및 8 개의 8 인치 (200mm) 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. 트윈 스칸 XT 1700i (Twinscan XT 1700i) 는 최대 25 nm 크기에 이르는 뛰어난 기능 해상도로 데이터를 빠르고 정확하게 얻을 수 있습니다. 또한 KrF, ArF, 고수치 조리개 오프 축 조명, PSIL 노출과 같은 조명 유형의 조합을 통해 달성 된 광범위한 노출을 자랑하여 상당한 수준의 선명도와 디테일을 제공합니다. 마지막으로, ASML Twinscan XT 1700i는 독점적 인 나노 템포 (Nano-Tempo) 전력 보존 기술 (Power Conservation Technology) 덕분에 에너지 효율성이 높으며, 이 기계는 전력 소비를 최소화하고 속도를 더욱 향상시키기 위해 적절한 전력을 사용합니다. 시간당 최대 30 웨이퍼. 정확한 이미징, 에너지 효율, 정확한 기능 해상도의 조합으로 Twinscan XT 1700i는 고속 반도체 웨이퍼 제작에 이상적인 도구입니다.
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