판매용 중고 ASML Twinscan XT 1700i #293652050
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ID: 293652050
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
ArF Scanner, 12"
SMIF / FOUP
Projection lens
Material / Chemical: Align
Load Module: EFEM
Process module:
Wafer stage
Reticle stage
Wafer handler
Reticle handler
AOM Laser
Bottom module spacer
EIM
ELEC
Utility:
CYMER XLA360 Excimer laser
BSM
ACC
ENTEGRIS E51004802 Charcoal filter
AERONIX EGPS
MCWC
LCWC
WSRC
RSRC
MDC
WICC
WISC
2006 vintage.
ASML Twinscan XT 1700i 웨이퍼 스테퍼는 뛰어난 정확도와 디테일 수준의 웨이퍼를 생산하도록 설계된 고급 웨이퍼 처리 기계입니다. 이 기계는 광범위한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리할 수 있으며, 높은 정확도와 반복성 (repeatability) 으로 매우 훌륭한 기능을 갖춘 다양한 장치를 만들 수 있습니다. XT 1700i는 고성능, 고속 정밀 모터 및 관련 모션 장비로 구동됩니다. 즉, 전체 검색 범위에서 빠르고 일관된 이동을 통해 높은 수준의 정확성을 보장합니다. 그 "모우터 '는 초속 300" 나노미터' 의 최소 진동 과 연속 주사 속도 를 보장 하도록 설계 되었다. 이 기계는 다양한 웨이퍼 (wafer) 와 생산 도구 (production tools) 의 요구에 맞게 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다. 기계에는 고급 웨이퍼 처리 시스템도 장착되어 있습니다. 이를 통해 웨이퍼를 빠르고 효율적으로 로드하고 언로드할 수 있으며, 웨이퍼의 정확한 정렬, 간격 (spacing), 기울기 (tilt) 조정을 수행할 수 있습니다. 또한 특수 패턴 추적 정렬 장치 (pattern-tracking alignment unit) 를 사용하여 원하는 패턴을 각 웨이퍼에 정확하게 복제할 수 있습니다. XT 1700i에는 고급 초점 제어 알고리즘과 고속 이미징 기술이 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 패턴이 어려운 기판 (예: DRAM 및 3D 구조) 에서도 뛰어난 성능을 얻을 수 있습니다. XT 1700i (XT 1700i) 는 또한 다양한 첨단 도량형 기술을 사용하여 출력 웨이퍼가 정확한 표준을 충족시킵니다. 여기에는 모양 도량형 기계, 스펙트럼 도량형 도구 및 전체 프로파일로미터가 포함됩니다. 이 에셋은 사용자가 웨이퍼 (wafer) 의 표면 품질과 작은 장치의 중요한 피쳐 크기에 대한 높은 정확도를 측정할 수 있도록 합니다. 또한 XT 1700i에는 고급 환경 제어 모델이 있습니다. 이 장비는 고도의 액티브 냉각 시스템 (active-cooling system) 을 사용하여 기계가 최적의 온도에서 실행되고 웨이퍼가 먼지 및 기타 오염 물질로부터 보호되도록 합니다. Twinscan XT 1700i (Twinscan XT 1700i) 는 매우 향상된 웨이퍼 처리 머신으로, 뛰어난 정확도와 정확도로 매우 고품질의 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 이 제품은 광범위한 애플리케이션에서 사용하기에 적합하며, 고급 도량형 (Advanced Metrology) 및 환경 제어 시스템 (Environmental Control System) 이 최고의 품질 및 신뢰성 표준을 충족하는지 확인합니다.
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