판매용 중고 ASML Twinscan XT 1470 #293817832
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ID: 293817832
Lithography system
Numerical Aperture (NA): 0.70-0.93
DCO: ≤4.5
Resolution: 57 nm
Throughput (WPH): 300.
ASML Twinscan XT 1470은 고급 반도체 장치의 대량 생산을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 도구는 석판화 공정에서 중요한 역할을 수행합니다. 이는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에 집적 회로 (integrated circuit) 기능의 패턴을 정의하는 반도체 제조의 핵심 단계입니다. XT 1470은 ASML 최신 Twinscan 시리즈의 일부로, 최첨단 반도체 기술을 생산할 수있는 정밀, 처리량, 해상도 기능으로 유명합니다. XT 1470의 주요 특징 중 하나는 EUV (extreme ultraviolet) 리소그래피 (lithography) 를 달성하는 능력으로, 더 작고 복잡한 반도체 장치를 제작 할 수 있습니다. EUV 리소그래피는 파장이 약 13.5 나노 미터 인 빛을 사용하며, 이는 전통적인 광학 리소그래피 시스템에서 사용되는 파장보다 훨씬 작습니다. 이를 통해 XT 1470은 10 나노미터 미만의 치수가있는 기능을 인쇄하여 현재 반도체 기술의 한계를 높일 수 있습니다. XT 1470 (XT 1470) 은 극도로 정밀하게 실리콘 웨이퍼에 EUV 빛을 집중시키고 형성하도록 특별히 설계된 정교한 렌즈 시스템을 갖추고 있습니다. 이 "렌즈 '" 시스템' 에는 여러 개 의 거울 과 함께 작용 하는 광학 구성 요소 들 이 포함 되어 있는데, 그것 은 광선 이 최소 의 왜곡 과 수차 로 "웨이퍼 '에 투사 되도록 한다. 이 정밀도 수준은 높은 수율과 최적의 성능을 가진 반도체 소자를 생산하는 데 중요합니다. XT 1470 (XT 1470) 은 고급 렌즈 시스템 외에도, 리소그래피 프로세스 동안 실리콘 웨이퍼의 정확한 위치 및 이동이 가능한 고정밀 웨이퍼 스테이지가 장착되어 있습니다. 이 단계 (Stage) 를 통해 패턴이 올바른 위치에 인쇄되고 웨이퍼를 정렬하여 제조되는 반도체 장치의 전반적인 품질 (Quality) 과 일관성 (Consistency) 에 기여합니다. XT 1470 (XT 1470) 은 또한 반도체 제조 설비의 다른 도구와 원활하게 통합 할 수있는 고급 자동화 및 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이러한 자동화를 통해 처리량이 크게 증가하여 주기를 줄이고 전반적인 생산성을 높일 수 있습니다. 또한 고급 모니터링 (Advanced Monitor) 및 진단 (Diagnostic) 기능을 통해 사용자가 신속하게 문제를 파악하고 해결하여 다운타임 및 운영 손실을 최소화할 수 있습니다. 전반적으로 Twinscan XT 1470은 최첨단 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 반도체 제조업체에 가장 진보된 반도체 기술을 생산하는 데 필요한 기능을 제공합니다. XT 1470은 EUV 리소그래피 기능, 고정밀 (high-precision) 옵틱 및 고급 자동화 기능을 통해 반도체 리소그래피 (lithography) 기술의 최전선에 있으며 반도체 업계의 혁신을 주도하는 데 중요한 역할을 합니다.
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