판매용 중고 ASML Twinscan XT 1400F #9143647
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ID: 9143647
웨이퍼 크기: 12"
I-line wafer stepper, 12"
ArF Exposure tool
Exposure wafer: LP*1/WS*1/Chuck*2/WH*1/RS*1/RH*1/Laser*1
193nm scanner
Photo module
Equipment type: PS-ARF
Missing parts:
Spare assy, auto shutter
Spare assy, beam reverser
Power supply assembly, DC
Power supply, switching, 480V, 3 Phase in, 24V@125A
Spare, LAM 54,471, module assy, 193nm w/EIS, w/LF, AWR
(ARF,SAM)Spare, sam module, 193nm,w/EIS, SAM
Spare,line narrowing module,LNM ,45x
WS Type1,2,3 ss1 XY motor assy
Blower motor assy
ACC MK4 Clean air fan
SPM RS Encoder head top mnt Y1
(2) Spares, blower motor controllers, XL, 56-turn
Assy, resonant charger, XLA-100, 7 joule
(2) Commutators
OC ( ArF)
Spare.assy. ArF 45w laser. long life PA chamber
Spare.assy. ArF 45w laser. long life MO chamber
WH SHB II Assy
MPCR (meas.pos.control rack)
Assy, CAN controller module, lower left optics
Power amp controller PPCA
WS Type 3+4 OXB coupl frame&clamps (XT1400)
WS Type 3+4 open X-beam assy
Spare assembly, MO web
Spare assembly, PA web
Spare, mechanical assy, ISS
DOE 193P ID18 MP2 40-Y FO
Aerial-P XT: 14X0 FO
DOE 193P ID8 MP2 90-X FO
DOE 193P ID7 MP2 90-Y FO
DOE 193P ID5 MP4 30-45 FO
Recipe creator light FO
Exposure FO
Integrated reticle library FO
AUX Port, 12" FOUP/(25) wafers FO
IRIS for Twinscan, 6" FO
Reticle CIDRW hermos (RF) FO
24-Character barcode reader Twinscan
Second laser paddle cymer
ESI EX2600 Hybrid
2005 vintage.
ASML Twinscan XT-1400F는 집적 회로 제조에 사용하기 위해 포토 마스크에서 작은 기능을 패턴화하는 데 사용되는 세계 최고의 웨이퍼 스테퍼입니다. 트윈 스캔 (Twinscan) 은 특허를받은 1 대 1 비율을 사용하는 독특하게 설계된 스테핑 및 스캐닝 동작을 기반으로 웨이퍼 스테이지의 빠르고 균일 한 움직임을 보장합니다. Twinscan XT-1400F (Twinscan XT-1400F) 는 경쟁 스테퍼보다 넓은 영역 필드 크기를 자랑하며, 단일 노출로 단일 기판에 더 많은 기능을 인쇄 할 수 있습니다. ASML Twinscan XT-1400F는 고해상도 스캔 Artem 기술을 통합하여 처리량과 허위 가장자리를 줄입니다. 무진동 설계를 통해 가장 높은 정확도 위치를 지정하여 5 나노미터 (5 나노미터) 의 작은 기능을 인쇄할 수 있습니다. Twinscan은 실리콘, 쿼츠, Mylar 및 다양한 다층 기판을 포함한 다양한 기판을 지원합니다. Twinscan XT-1400F는 또한 반응성 가스의 뜨거운 탈출을 갖춘 높은 안정성 멀티 가스 챔버 (multi-gas chamber) 를 갖추고 있으며, 최적의 처리 시간과 균일 한 최종 미세 구조를 제공합니다. 또한 Optics & Polarizer System을 사용하면 정확한 편광 제어, 높은 처리량, 뛰어난 이미징 품질을 얻을 수 있으며, [저질량 웨이퍼 스테이지] 를 사용하면 진동에서 이미지가 흐려지지 않습니다. ASML Twinscan XT-1400F 는 광범위한 노출 매개변수를 지원하며, 매우 빠른 속도로 고해상도 이미지를 일관되게 생성할 수 있습니다. 또한 Digital MicroScanner 소프트웨어를 사용하면 시스템의 작동 편의성과 정밀한 기능을 사용할 수 있습니다. 마지막으로, Twinscan XT-1400F의 리버스 스캔 아키텍처는 포토 마스크 및 기판에서 낮은 수준의 입자 오염을 초래합니다. 전반적으로 ASML Twinscan XT-1400F는 최고의 화질 해상도, 뛰어난 처리량, 전력 효율 및 최소 입자 오염을 제공하는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 집적회로에서 미세한 기능을 만드는 데 적합하며, 풍부한 기능의 기술 (array of feature-rich technologies) 로 다양한 기판에 적합합니다.
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