판매용 중고 ASML Twinscan XT 1400F #293817723

ASML Twinscan XT 1400F
ID: 293817723
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
Immersion lithography system, 12" 2005 vintage.
ASML Twinscan XT 1400F는 업계 최고의 반도체 제조 및 리소그래피 장비 제조업체 인 ASML이 설계 한 웨이퍼 스테퍼입니다. XT 1400F는 ASML에서 생산 한 4 세대 플랫폼 기술이며, 고급 메모리, 고급 CMOS 논리, RF 장치 및 III-V 논리 및 전원 장치 제작을위한 포괄적 인 리소그래피 솔루션으로 설계되었습니다. XT 1400F 웨이퍼 스테퍼는 반도체 업계에서 달성 할 수있는 최고의 해상도에 최대 0.75 NA (수치 조리개) 를 사용합니다. 광범위한 렌즈 범위를 갖춘 XT 1400F (XT 1400F) 는 최대 1450mm 범위의 다양한 기능을 제공합니다. 이 다양한 초점 길이 (focal length) 를 통해 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 다양한 사용 가능한 프로세스 노드에 적용할 수 있습니다. XT 1400F (XT 1400F) 는 높은 수치 조리개 외에도 빠르고 동적인 동기식 모터를 통해 안정적이고 반복 가능한 위치를 구현합니다. "모우터 '는 0.5" 나노미터' 의 고해상도 로 설계 되었는데 그것 은 전통적 인 "스테퍼 '보다 더 정밀 하다. XT 1400F의 저소음, 저진동 디자인은 22nm 이하의 생산 노드에서 고정밀 어플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다. 고급 마스크 처리 기술 (Advanced Mask-Handling Technology) 은 정확하고 안정적인 오버레이 측정을 제공하여 마스크 변경이 잦은 프로세스 결과를 일관되게 보장합니다. XT 1400F 는 ASML 의 최신 Track Age Technologies 와 Process Repeatability 를 통합하여 시장에서 가장 높은 품질의 스테퍼입니다. 또한 향상된 임계 치수 제어를 위해 극히 짧은 펄스 조명 시간을 제공하는 멀티 존 (multi-zone) UV 소스 설계가 특징입니다. XT 1400F에는 IQCAS (In-line Quality Controllable Assisted Stepper) 도 있습니다. ASML의 독보적이며 빠른 주기 시간과 보다 효율적인 처리량을 제공하는 시스템을 빠르게 조정합니다. IQCAS (IQCAS) 를 사용하면 인라인 스캐너 (In-Line Scanner) 가 제공하는 이미지 측정과 조명 설정을 세밀하게 조정하여 주기 시간을 자동으로 최적화할 수 있습니다. 전반적으로 Twinscan XT 1400F 웨이퍼 스테퍼는 고급 메모리, CMOS 논리, RF 및 III-V 로직 및 전원 장치 제조를 위해 안정성, 고품질 및 특수 솔루션을 제공합니다.
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