판매용 중고 ASML Twinscan XT 1250D #9207817
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판매
ID: 9207817
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
ArF Scanner, 12"
RH Type: Right type
WH Type: SMIF
Workstation type: NETRA V240
Laser type: CYMER Laser
Uniformity: 0.93 % (<0.35 %)
Stray light: 0.53% (<1.0%)
Lens data
Spherical: 0.92 nm (-0.2 to 0.2)
Coma: 0.78 nm (-0.2 to 0.2)
Astigmatism: 1.1 nm (-0.1 to 0.1)
(3) Foils: 0.55 nm (-0.1 to 0.1)
(Z5-Z-37) 2.27 nm (-0.2 to 0.2)
2004 vintage.
ASML Twinscan XT 1250D는 집적 회로 제조에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 웨이퍼에 복잡한 집적 회로 패턴을 생성 할 수있는 고급 사진 식자술 (photolithography) 장비이다. ASML TWINSCAN XT: 1250D는 감광 저항을 노출시키는 데 사용되는 4 채널 레이저를 사용합니다. 레이저는 최대 해상도가 25 nm 인 4 개의 사분면에서 노출됩니다. 스테퍼는 또한 2m/2s ² 의 가속도와 100kHz의 최고 속도로 빠른 스캔 속도를 제공합니다. 이를 통해 TWINSCAN XT 1250 D 는 단일 프로세스를 완료하는 데 몇 분 정도 걸리는 경쟁사 시스템과 비교하여 1 초 이내에 전체 단계 프로세스를 완료할 수 있습니다. 스테퍼는 또한 150mm 필드 크기에 비해 0.15 äm의 매우 정확한 정렬 정확도를 제공합니다. 이렇게 하면 웨이퍼 (wafer) 의 모서리에 인쇄된 피쳐가 정확하게 유지되고 의도된 패턴에서 벗어나지 않도록 할 수 있습니다. TWINSCAN XT의 또 다른 장점: 1250D는 튜닝 프로세스를 자동화하는 기능입니다. 이 알고리즘을 사용하면 시스템이 매개변수를 최적화하고 프로세스를 적절하게 조정하여 반복 (repeatable) 결과를 얻을 수 있습니다. 이렇게 하면 장치 최적화에 필요한 수동 단계가 제거되고 생산성이 향상됩니다. Twinscan XT 1250D는 소프트-하드 UV (Soft-Hard UV) 범위에서 작동하여 다양한 저항과 기판으로 작동 할 수 있습니다. 이러한 다양성은 스테퍼를 광범위한 생산 요구에 적합하게 만듭니다. ASML TWINSCAN XT 1250 D는 안정적이고 내구성이 뛰어난 머신으로, 유지 보수 없이 24 시간 이상 작동하도록 설계되었습니다. 또한 고급 진단 인터페이스 (Advanced Diagnostics Interface) 를 통해 제조업체는 공구의 상태를 적극적으로 모니터링하고 필요할 때 변경할 수 있습니다. 전반적으로 ASML Twinscan XT 1250D는 안정적이고 효율적인 웨이퍼 스테퍼 에셋으로, 정확성과 정확도로 반도체 웨이퍼에 복잡한 집적 회로 패턴을 생성 할 수 있습니다. 빠른 스캔 속도 (fast scan speed), 자동 튜닝 프로세스 (automated tuning process) 를 제공하며 소프트-하드 UV 범위에서 작동하여 다양한 운영 요구에 적합합니다.
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