판매용 중고 ASML Twinscan XT 1250D #293666937

ASML Twinscan XT 1250D
ID: 293666937
ArF Scanner 193 nm.
ASML Twinscan XT 1250D는 마이크로 일렉트로닉스 산업에 사용되는 기판의 매우 정확한 디지털 이미지를 생산하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 한 번에 여러 기판을 빠르게 스쳐서 스캔 할 수 있으며, 탁월한 정확도를 제공합니다. ASML TWINSCAN XT: 1250D의 스캔 필드는 1250mm이며, 최대 17µm/픽셀의 해상도를 달성 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼의 주요 구성 요소는 광 시스템, 컨트롤러 및 스테이지입니다. 고해상도 광학 시스템은 1250mm 스캔 필드, 2/3rds 수치 조리개 및 오브젝티브 렌즈 (objective lens) 로 구성되어 있으며, 최대 17äm/pixel 해상도로 이미지를 스캔 할 수 있습니다. 컨트롤러에는 터치 스크린 사용자 인터페이스, CCD 검출기 어레이, 고속 보기 및 제어 PC가 포함됩니다. 스테이지는 최대 125mm 직경의 기판을 수용 할 수있는 완전히 프로그래밍 가능한 X-Y 포지셔너입니다. TWINSCAN XT 1250 D는 향상된 정확성과 이미징을 위해 다양한 기능을 사용합니다. 여기에는 파면 품질 제어 시스템, 다양한 기판 크기와 두께를 수용하는 교정 기능, 이미징 매개변수를 최적으로 설정하는 자동 세트 (autoset) 알고리즘이 포함됩니다. 조명 소스 (lumination source) 및 자동 정렬 루틴 (auto alignment routine) 을 선택 및 모니터링하는 기능을 통해 여러 기판을 한 번에 정렬하고 배치할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 Twinscan 프로덕션 및 데이터 관리 소프트웨어와 함께 작동합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 대비 및 밝기와 같은 특정 매개 변수를 제어 할 수 있습니다. 또한 배치 크기, 기판 유형, 실행 시간 (run time) 과 관련된 지침을 쉽게 입력할 수 있습니다. 소프트웨어는 쉽게 확장할 수 있으며 여러 스캐닝 및 이미징 형식을 지원합니다. TWINSCAN XT: 1250D는 모든 마이크로 일렉트로닉스 실험실을위한 필수 장비입니다. 매우 사용자 친화적이고 견고하며, 뛰어난 정확도와 이미지 해상도 (image resolution) 를 제공하여 업계의 요구에 잘 부합합니다.
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