판매용 중고 ASML Twinscan XT 1250D #293602263

ASML Twinscan XT 1250D는 300mm 웨이퍼 응용 프로그램의 생산 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급, 매우 정확하고 다용도 웨이퍼 스테퍼입니다. 사진사 (photoresist) 에서 금속 (metal) 및 그 너머에 이르기까지 다양한 리소그래피 층을 처리 할 수 있습니다. 정밀 포지셔닝을 위해 정밀 선형 모터 드라이브 및 고해상도 인코더가 장착 된 고속 1250mm 스캔 스테이지가 특징입니다. 최대 스테이지 속도는 450mm/s이며 10nm 수준에서 반복성이 있습니다. ASML TWINSCAN XT: 1250D는 광학 해상도가 1nm 이상인 매우 큰 고해상도 11äm 슬릿 프로젝터를 갖추고 있습니다. 고해상도는 DCM (Dot Calibration Method) 및 이중 오버레이 엔진을 사용하여 달성되며, 둘 다 불완전성을 수정하여 정확한 이미징을 보장합니다. 또한, 장비에는 최대 4 개의 광원과 도전적인 조명 환경을 관리 할 수있는 강력한 IC (Illumination Control) 패키지가 장착되어 있습니다. TWINSCAN XT 1250 D에는 크고, 유연하고, 겹치지 않은 웨이퍼 필드가 있으며, 큰 다이 크기를 수용하도록 사용자 정의할 수 있습니다. 이 시스템은 한 번에 최대 15 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 다양한 기판으로 작동 할 수 있습니다. 실리콘, 게르마늄, 폴리 실리콘에서 에피 택시 층까지. 또한이 장치는 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 5 인치에서 14 인치 웨이퍼까지. Twinscan XT 1250D는 고급 제어 머신으로 구동되며, 여러 현미경, 광학 부품, 모터 및 센서의 고급 기능과 완벽한 확장성을 제공합니다. 빠르고 정확한 리소그래피 (lithography) 를 위해 설계된 고급 소프트웨어 툴과 프로토콜이 함께 제공됩니다. 내장형 진단, PPC (Proactive Process Control) 및 무진동 급지대 (Vibration-Free Feeder) 를 통해 쉽게 작동하고 기계를 유지 관리할 수 있습니다. ASML TWINSCAN XT 1250 D (ASML TWINSCAN XT 1250 D) 도구는 다양한 서비스에서 지원되어 자산의 성능과 수명을 적절히 보장합니다. 여기에는 현장 시작 및 시운전, 모델 유지 보수 및 지원, 교체 부품, 교육 등이 포함됩니다. 또한, ASML은 장비가 성능 요구 사항을 충족하도록 보장하는 성능을 제공합니다.