판매용 중고 ASML Twinscan XT 1250 #9268786

ASML Twinscan XT 1250은 UV 이미지를 제공하고 집적 회로의 리소그래피를 지원하는 엑시머 파장 스캐너입니다. 주로 대용량 석판 마스터를 만들기 위해 웨이퍼 제작 프로세스에 사용됩니다. ASML TWINSCAN XT: 1250의 해상도는 2 미크론이며 시간당 최대 1250 개의 웨이퍼를 스캔합니다. 따라서 고급 웨이퍼 생산에 적합하고 효율적인 툴입니다. Twinscan XT 1250의 레이저 정렬 장비는 정확하고 고성능 스캔을 제공하도록 설계되었습니다. 스캐너의 위치 정확도는 5 미크론이고 가용성은 98% 입니다. 여기에는 6 배 패턴 사전 정렬 시스템과 5 미크론 기능 사전 정렬 장치가 있습니다. 즉, 가장 작은 기능조차도 정확하게 배치 할 수 있습니다. 새로운 3개 슬라이드, 5축 설계로 더욱 뛰어난 정확성과 유연성을 제공합니다. TWINSCAN XT: 1250은 레이저 조명기를 사용하여 희생 층의 노출에 사용되는 짧은 UV 광 펄스를 생성합니다. 이 빛 의 "펄스 '는" 웨이퍼' 로 향하고 "와퍼 '는" 패턴' 이 정렬 되어 있는 동안 노출 된다. 따라서 정렬의 정밀도가 유지되고 정밀한 결과가 생성됩니다. 프런트 엔드 Metrology 스테이션은 ASML Twinscan XT 1250의 또 다른 중요한 기능입니다. Metrology 스테이션은 노출 전에 웨이퍼의 기능을 측정하는 데 사용됩니다. wafer 가 올바르게 정렬되고 모든 기능이 올바른 위치에 있는지 확인합니다. ASML TWINSCAN XT: 1250에는 웨이퍼 스테퍼를 클러스터 도구 로더에 연결하는 자동 클러스터 도구 (Cluster Tool) 도 있습니다. 이 도구를 사용하면 웨이퍼 패턴을 빠르고 정확하게 로드하고 언로드할 수 있습니다. Twinscan XT 1250에는 도구 설정, 온도, 높은 진공 자산 및 기타 모델 조건을 실시간으로 표시하는 2 개의 독립적 인 기계 조종석이 있습니다. 이는 장비 컴포넌트를 관리하고 시스템이 항상 효율적으로 실행되도록 하는 데 중요합니다. 전반적으로 TWINSCAN XT: 1250은 단시간 내에 고급 석판 마스터를 생산할 수있는 강력하고 정확한 웨이퍼 스테퍼입니다. 미세 수준에서 정밀도를 보장하는 5 미크론, 고가용성 속도, 레이저 정렬 장치의 정확도를 갖습니다. 또한, 올바른 도구 작동을 보장하는 자동 클러스터 도구 (Cluster Tool) 와 2 개의 독립 머신 조종석을 갖추고 있습니다.