판매용 중고 ASML Twinscan XT 1200 #9079261

ASML Twinscan XT 1200은 반도체 기판의 리소그래피에 사용되는 PAS 5500/6500 웨이퍼 스테퍼입니다. 그것 은 오늘날 집적 "회로 '제조 에 사용 되는 가장 정확 한 광학 기계 중 하나 이다. 정확한 단계 크기 정확도는 +/- 0.5nm (20 nm) 까지 피쳐를 패턴화할 수 있습니다. Twinscan XT 1200에는 Synchroscan® 스캔 시스템 (Synchroscan® Scanning System) 이 장착되어 있으며, 고도의 선형성과 속도 안정성을 갖춘 웨이퍼를 X-Y 스캔할 수 있는 단계가 있습니다. 스테이지는 최대 240mm/초의 최고 속도를 달성 할 수 있으며 최대 가속도는 40G입니다. 또한 스테이지에는 피치 (Pitch) 및 롤 (Roll) 자동 교정 센서가 통합되어 전체 스캔 영역에 걸쳐 패턴을 정렬합니다. ASML Twinscan XT 1200은 최대 300mm 직경의 웨이퍼 기판을 해상도 설정이 0.45 "m/픽셀로 노출 할 수 있습니다. 이 초고해상도 기능을 통해 보다 정확하고 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. 이 기계는 또한 CAS (Crop Alignment System) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 웨이퍼 내에서 피쳐를 정확하게 배치하기 위해 작은 웨이퍼 세그먼트를 정렬 할 수 있습니다. Twinscan XT 1200은 또한 AWG (Arrayed Waveguide Gratings) 및 LWD (Long Working Distance Objectives) 를 사용하여 세미 커스텀 레이어 및 디자인을 노출 할 수 있습니다. 이러한 waveguide 격자는 왜곡되기 쉽고 더 넓은 FOV (field-of-view) 를 제공하여 처리량을 향상시킬 수 있습니다. LWD 목표는 뛰어난 DOF (depth of field) 를 제공하여 이미지를 더 선명하게 만듭니다. ASML Twinscan XT 1200은 오늘날의 반도체 산업에서 안정적이고 효율적인 생산 시스템입니다. 정밀도 (accurity) 와 속도 (speed) 로 유명하며, 크기의 다른 기계보다 기능 밀도가 큰 고품질 패턴을 만들 수 있습니다. 또한 디지털 IC, 제어 IC, 아날로그 IC 및 전력 IC에 이르기까지 다양한 응용 프로그램을 처리 할 수 있으며, 현대 칩 제조를위한 다용도 도구입니다.