판매용 중고 ASML Twinscan XT 1060K #293817835
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ID: 293817835
Lithography system
Numerical Aperture (NA): 0.50-0.93
Resolution: 80 nm
DCO: 3.5
MMO: 5
Throughput (WPH): 205.
ASML Twinscan XT 1060K는 집적 회로 제조에서 고해상도 리소그래피 (lithography) 프로세스를 달성하기 위해 반도체 산업을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 최첨단 장비는 반도체 제조 기술이 크게 발전하여 이전 세대의 웨이퍼 스텝 (wafer stepper) 에 비해 향상된 성능, 정밀, 생산성을 제공합니다. 트윈 스칸 XT 1060K (Twinscan XT 1060K) 의 핵심에는 최첨단 프로젝션 렌즈 시스템이 있으며, 이는 고급 반도체 장치를 패턴화하는 탁월한 이미징 기능을 제공합니다. 이 장치에는 높은 해상도의 패턴을 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 표면에 투영할 수있는 큰 수치 조리개 (NA) 렌즈 (뛰어난 정확도와 일관성) 가 있습니다. 높은 NA 렌즈 (High NA Lens) 는 고급 기술 노드를 갖춘 차세대 집적 회로 (Integrated Circuit) 를 생산할 수 있도록 보다 세밀한 기능과 더 엄격한 설계 공차를 인쇄할 수 있습니다. ASML Twinscan XT 1060K에는 정교한 조명기가 장착되어 있으며, 여기에는 고급 광원, 필터, 거울이 포함되어 있어 리소그래피 프로세스에 사용되는 빛의 강도, 편광, 스펙트럼 특성을 제어합니다. 조명 조건에 대한 이러한 정확한 제어는 최적의 이미지 대비, 해상도, 초점 깊이를 보장하며, 따라서 웨이퍼에 뛰어난 패턴 충실도 (pattern fidelity) 및 치수 제어 (dimensional control) 가 생성됩니다. Twinscan XT 1060K 의 주요 특징 중 하나는 고속 스테이지 툴로, 리소그래피 프로세스 (lithography process) 동안 빠르고 정확한 웨이퍼 (wafer) 위치와 정렬을 가능하게 합니다. 자산에는 고급 단계 제어 알고리즘 및 도량형 (Metrology) 도구가 장착되어 있어 여러 프로세스 단계에서 나노미터 이하의 포지셔닝 정확성과 뛰어난 오버레이 성능을 보장합니다. 또한, ASML Twinscan XT 1060K는 고급 이미지 처리 및 수정 기술을 통합하여 패턴 충실도 및 임계 치수 제어에 영향을 줄 수있는 광학 수차, 렌즈 왜곡 및 기타 이미징 오류 소스를 보상합니다. 이러한 계산 기술은 실시간 모니터링 (real-time monitoring) 및 피드백 (feedback) 시스템과 결합하여 모델을 사용하여 최적의 리소그래피 성능을 달성하고 웨이퍼 구성 프로세스 전반에 걸쳐 엄격한 프로세스 제어를 유지할 수 있습니다. Twinscan XT 1060K (Twinscan XT 1060K) 는 기술 기능 외에도 매우 유연하고 확장성이 뛰어난 플랫폼을 제공하며, 다양한 프로세스 요구 사항과 웨이퍼 (wafer) 크기를 지원하도록 쉽게 구성할 수 있습니다. 이 장비는 다양한 포토 esist 재료, 정렬 전략, 웨이퍼 척 (wafer chuck) 옵션과 호환되므로 반도체 제조업체가 특정 생산 요구와 프로세스 흐름에 맞게 시스템을 조정할 수 있습니다. 전반적으로 ASML Twinscan XT 1060K는 웨이퍼 스테퍼 기술 (wafer stepper technology) 의 획기적인 발전으로 반도체 산업에 탁월한 이미징 성능, 정밀 및 생산성을 제공합니다. 이 기계는 고급 광학 설계, 고속 스테이지 유닛, 지능형 제어 알고리즘을 통해 반도체 제조업체가 향상된 성능, 기능으로 최첨단 집적 회로를 생산할 수 있습니다.
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