판매용 중고 ASML Twinscan NXT 2000i #293817821

ASML Twinscan NXT 2000i
ID: 293817821
ArF Scanner Numerical Aperture (NA): 1.35 Resolution: 38 nm MMO: 2.5 Throughput (WPH): 275.
ASML Twinscan NXT 2000i는 실리콘 웨이퍼에서 집적 회로 (IC) 생산을 위해 반도체 산업에 사용되는 고도로 고급 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 이 최첨단 리소그래피 시스템은 세계 반도체 업계에 대한 사진 해설장비 (photolithography equipment) 의 선두 공급업체인 ASML에 의해 제조됩니다. 트윈 스캔 NXT 2000i (Twinscan NXT 2000i) 는 최신 ASML 침수 석판 시스템을 나타내며 반도체 제조에서 더 높은 해상도와 더 엄격한 프로세스 제어에 대한 요구가 증가하도록 설계되었습니다. ASML Twinscan NXT 2000i는 파장 193 나노 미터 (nm) 의 깊은 자외선을 사용하여 실리콘 웨이퍼에 광 주의자를 노출시키는 최첨단 조명 장치 주위에 구축되었습니다. 이 파장은 기능 크기가 10 나노미터 미만인 고급 IC 설계를 생성하는 데 필요한 고해상도를 달성하는 데 중요합니다. 이 기계는 또한 수치 조리개 (NA) 가 1.35 인 정교한 렌즈 도구를 특징으로하며, 이는 매우 정밀하고 선명하게 와퍼에 복잡한 회로 패턴을 투영 할 수 있습니다. 트윈 스칸 NXT 2000i (Twinscan NXT 2000i) 의 주요 혁신 중 하나는 침수 석판 기술로, 렌즈와 웨이퍼 사이의 공간을 특수 유체 (일반적으로 탈이온화 된 물) 로 채우는 것입니다. 이 몰입 (immersion) 기술은 회절 효과를 줄이고 투영된 이미지의 대비를 향상시켜 리소그래피 (lithography) 자산의 해상도와 깊이 (depth) 를 향상시킵니다. 또한 침수 (immersion) 과정을 통해 광학 경로의 왜곡 및 수차를 최소화하여 웨이퍼의 패턴 충실도 (fidelity) 와 모서리 배치 (edge placement) 정확도를 높일 수 있습니다. ASML Twinscan NXT 2000i에는 고급 광 구성 요소 외에도 고속 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 가 장착되어 있어 노출 과정에서 실리콘 웨이퍼를 정확하게 배치하고 정렬할 수 있습니다. 이 모델은 자동화된 레티클 처리 장비 (Reticle Handling Equipment) 로, 웨이퍼에 전송할 회로 패턴이 들어 있는 레티클을 빠르게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이 높은 처리량을 통해 Twinscan NXT 2000i 는 업계 최고의 생산성 및 생산성 향상을 실현하여 최첨단 반도체 디바이스의 볼륨 제조에 적합합니다. ASML Twinscan NXT 2000i (ASML Twinscan NXT 2000i) 는 광범위한 포토리스 재료 및 프로세스 매개변수와 호환되도록 설계되었으며, 반도체 제조업체가 특정 장치 요구 사항에 맞게 리소그래피 프로세스를 최적화 할 수 있습니다. 또한 고급 제어 소프트웨어 (Advanced Control Software) 및 모니터링 툴을 사용하여 노출 매개변수, 정렬 수정, 전체 장치 성능 등을 실시간으로 조정할 수 있습니다. 이러한 수준의 유연성과 제어는 Twinscan NXT 2000i가 엄격한 품질 표준을 충족시키고 최첨단 반도체 제품의 대량 생산에 필요한 목표를 산출할 수 있도록 합니다 (영문). 전반적으로 ASML Twinscan NXT 2000i는 침수 리소그래피 분야의 상당한 기술 발전을 대표하며, 반도체 제조업체는 나노 스케일 정밀도로 복잡한 IC 디자인을 패턴화하는 강력하고 신뢰할 수있는 솔루션을 제공합니다. 최첨단 옵틱, 몰입 기술, 고속 스테이지, 고급 제어 기능을 갖춘 Twinscan NXT 2000i는 혁신을 주도하고, 고성능, 에너지 효율성, 소형화가 필요한 차세대 반도체 장치를 지원합니다.
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