판매용 중고 ASML Twinscan AT 850D #293799740
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ASML Twinscan AT 850D 웨이퍼 스테퍼는 최첨단 최첨단 석판화 장비로, 비용 효율적인 반도체 웨이퍼 제작을 위해 탁월한 프로세스 성능을 제공합니다. 이 제품은 씬 웨이퍼를 신속하게 처리할 수 있는 스텝 앤 스캔 (step-and-scan) 기능을 갖춘 자동 노출 시스템입니다. 초고속 스캔 속도와 초당 최대 750 밀리미터 (초속 750) 의 스텝 속도로 높은 생산성을 제공합니다. AT850D는 가전 제품, 컴퓨팅, 메모리 장치, 저전력 응용프로그램 (저전력) 을 위한 복잡한 고밀도 집적 회로의 제작에 사용하도록 설계되었습니다. 이 기계에는 쿼츠 렌즈, 5BSO (Beam Shaping Optical) 도구 및 IF (Interference Filter) 자산과 같은 다양한 고급 광 구성 요소가 포함되어 있습니다. 고급 리소그래피 소프트웨어 (advanced lithography software) 와 결합된 optic을 사용하면 6 ~ 7 레벨의 회로 구성 요소를 웨이퍼에 정확하게 이미징 할 수 있습니다. AT850D 는 또한 고급 열 보상 기술 (Thermal Compensation Technology) 을 갖춘 탁월한 스캔 처리량을 통해 웨이퍼 (Wafer) 에 단일 회로 레이어를 노출시키는 데 필요한 시간을 대폭 단축합니다. 이렇게 하면 웨이퍼 모서리의 패턴화 유도 왜곡이 감소하여 해상도가 높고 공정 수익률이 높아집니다. 이 모델은 미크론 레벨 스팟으로 작동 중 정확도를 발견 할 수있는 뛰어난 정확도를 제공합니다. AT850D는 자동 스캐닝 기능 외에도 성능 진단 (Performance Diagnosis), 조정 (Calibration), 유지 보수 모니터링 (Maintenance Monitoring) 등의 다양한 스마트 기능을 제공합니다. 즉, 사용자는 프로세스의 효율성을 극대화하고, 장비의 성능을 항상 최적화할 수 있습니다. 이 시스템은 변형 가능한 미러, Telecentric 렌즈, AFC Alignment Unit 및 Data Analysis와 같은 여러 가지 고급 기능으로 구성됩니다. 이러한 기능은 뛰어난 이미징 기능을 제공하며, 다양한 애플리케이션의 시스템 튜닝 (fine tuning) 및 보정 (calibrate) 기능을 지원합니다. 전반적으로 Twinscan AT 850D 웨이퍼 스테퍼는 복잡한 고밀도 집적 회로 부품을 생산하기위한 훌륭한 도구입니다. 고급 옵틱, 사용자 정의 가능한 기능, 뛰어난 처리량을 통해 반도체 제작에 이상적인 선택이 가능합니다.
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