판매용 중고 ASML Twinscan AT 1200B #293663072

ASML Twinscan AT 1200B
ID: 293663072
Scanner.
ASML Twinscan AT 1200B는 고급 리소그래피를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. ASML의 System & Components Division에 의해 개발 및 형성되었습니다. 전체 칩 수율을 늘릴 수 있는 뛰어난 정밀도 및 성능 기능을 제공합니다. 이 장치는 LED, MEMS 및 전원 장치에 적합합니다. 웨이퍼 스테퍼는 리소그래피, 고해상도 이미징, 넓은 필드 크기로 뛰어난 안정성을 제공합니다. 이 제품은 AutoTune TWIN APC (Automated Proximity Control) 로 구동되며 높은 웨이퍼 대 웨이퍼 균일성과 향상된 오버레이 성능을 보장합니다. 이 기능은 또한 최신 리소그래피 기술, 고급 레티클 정렬 방법, 고급 도량형 정확도 (Advanced Metrology Accuracy) 를 사용하여 웨이퍼를 가장 정확하게 패턴화합니다. 이 장치 는 신속 하고 정확 한 노출 을 제공 하며, 여러 가지 구성 요소 를 갖추게 되어 "리소그래피 '를 위한 강력 한 도구 가 된다. 이러한 구성 요소에는 필드 크기를 높이고 처리량을 향상시키는 ASML 독점 스캔 기술 (Scan Technology) 이 포함됩니다. ARA (Auto Reticle Alignment) 기술은 오버레이 성능을 향상시킵니다. 그리고 높은 웨이퍼 투 웨이퍼 생산을 위해 AutoTune TWIN APC와 함께 작동하는 현장 균일 성 향상. 또한 Twinscan AT 1200B는 OPC 생성 결함 수준이 낮고 임계 치수 균일성이 향상되어 웨이퍼 패턴화의 값이 향상됩니다. 레티클 (reticle) 및 웨이퍼 (wafer) 스테이지 로드/언로드가 자동화되어 디바이스를 보다 쉽게 사용하고 최신 단계 배포 기술을 지원할 수 있습니다. 또한 이 장치에는 프로세스 시간 수정 (process time correction) 을 줄여 생산성을 높이기 위한 적응형 워크플로우가 있습니다. 전반적으로 ASML Twinscan AT 1200B는 고급 리소그래피 (lithography) 를 위한 최상위 장치로서 뛰어난 정밀도 및 성능 기능을 제공하며 효과적인 웨이퍼 패턴화를 지원합니다. 다양한 어플리케이션 (application) 에 적합하며, 효율적인 사용과 높은 수율을 가능하게 하는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 궁극적으로, 이 장치는 전체 칩 품질을 높일 수 있는 최상의 성능과 안정성을 제공하도록 설계되었습니다.
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