판매용 중고 ASML Twinscan AT 1200B #293663069

ASML Twinscan AT 1200B
ID: 293663069
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ASML Twinscan AT 1200B는 사진 해설에 사용되는 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 와 같은 기판에 고해상도 패턴 전송을 제공하는 한편, 제품의 차원 정확도를 유지하도록 설계되었습니다. 트윈 스캔 AT 1200B (Twinscan AT 1200B) 는 동작 제어에 고정밀 스테퍼 모터를 사용하여 미크론의 위치 정확성을 달성합니다. 이 장비는 확대/축소 돋보기, 통신 광학, 프로젝션 렌즈, 적외선 정렬 시스템, 다양한 숫자 조리개 등 고해상도 광학 구성 요소를 갖추고 있습니다. 이러한 요소들은 모두 고정밀 이미징 장치를 제공합니다. ASML Twinscan AT 1200B는 직경이 최대 12 인치인 기판을 처리 할 수 있습니다. 가변 속도의 스테퍼 암 (stepper arm) 을 사용하여 노출된 서피스의 기판과 정렬을 회전시킬 수 있습니다. 스테퍼 암 (stepper arm) 은 기판 테이블을 가로질러 가로로 미끄러지는 캐리어 (carrier) 에 연결되어 정확하고 빠른 위치를 설정할 수 있습니다. 트윈 스캔 AT 1200B (Twinscan AT 1200B) 는 또한 자동화된 정렬 기계를 제공하며, 이는 광학 센서를 사용하여 표의 기판 위치를 추적합니다. 이 도구를 사용하면 구성 요소를 보다 빠르고 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한 스테퍼 (stepper) 에는 다양한 사이트에서 기판의 표면을 측정하고 높이를 조정하여 정확성을 보장하는 레벨 링 에셋 (옵션) 이 있습니다. ASML Twinscan AT 1200B는 정밀 구성 요소 및 정렬 모델 외에도 라이트 마스커와 프로세스 제어 장치를 모두 갖추고 있습니다. 라이트 마스커 (Light Masker) 는 노출 수준과 초점 장치를 제어하는 데 사용되며, 프로세스 제어 장치 (Process Control Unit) 는 사용자가 조명 수준, 노출 시간 등의 레시피 매개변수를 조정할 수 있습니다. Twinscan AT 1200B는 사진 해설을위한 다양한 기능을 제공합니다. 고정밀 이미징 장비와 컨트롤 (Control) 구성 요소는 정확하고 안정적인 패턴 전송을 제공하는 반면, 자동화된 정렬과 옵션인 레벨러 (Leveler) 는 안정적인 성능을 보장합니다. 수많은 기판과의 호환성과 결합된 ASML Twinscan AT 1200B는 정확하고 안정적인 웨이퍼 스테퍼가 필요한 사람들에게 적합한 선택입니다.
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