판매용 중고 ASML Twinscan AT 1150i #9112180
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ASML Twinscan AT 1150i는 고성능 웨이퍼 생산에 사용되는 현재 세대 스테퍼입니다. 스테퍼 (stepper) 는 반도체 제작 공정에 사용되는 광석판 촬영 장비의 한 유형입니다. 포토 마스크 (photomask) 에서 웨이퍼 (wafer) 표면으로 가져온 패턴을 정확하게 전송하여 더 작은 트랜지스터 (transistor) 및 집적회로 생산에 사용되는 다른 컴포넌트를 생성할 수 있습니다. Twinscan AT 1150i는 크기가 50 나노 미터까지 중요한 기능을 생성 할 수있는 최고급 장치입니다. 스테퍼는 또한 2 나노 미터의 반복 가능성으로 뛰어난 정확성을 제공합니다. 또한 시간당 최대 15,000 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 높은 처리율을 자랑합니다. ASML Twinscan AT 1150i에는 더 효율적인 에너지 전송이 가능한보다 균질 한 웨이퍼 노출을 제공하는 더블 라미나 광학 시스템 (double-laminar optical system) 이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 또한 클리어 (clear) 마스크 및 단계 시프트 마스크 (phase shift mask) 모두 뛰어난 이미징을 제공하여 최고 품질의 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 스테퍼에는 에지 롤오프 (Edge Roll-off) 를 줄일 수있는 필드 수정 기능이 있으며, 다양한 웨이퍼 유형 및 기판을 수용 할 수 있습니다. 또한 Twinscan AT 1150i는 고급 자동화 소프트웨어 제품군의 이점을 제공합니다. 이 제품군에는 고급 정렬 (Advanced Alignment) 및 교정 시스템 (Calibration System) 과 중요한 매개변수를 실시간으로 모니터링하는 데 사용할 수 있는 이미지 및 분석 도구 모음이 포함되어 있습니다. 즉, 다운타임이 최소화되고 수작업이 최소화되므로 고품질 제품을 생산할 수 있습니다. 마지막으로 ASML Twinscan AT 1150i는 안정성이 뛰어나고 안전합니다. 전기 충격 (electrical shock) 에 대한 여러 층의 보호, 오염 위험을 줄이기 위해 고효율 공기 여과 시스템 (Air Filtration System) 이 특징입니다. 따라서 다운타임을 최소화하고 고품질 제품을 안전하게 생산하는 고성능 (HPD) 운영 환경에 가장 적합합니다.
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