판매용 중고 ASML Twinscan AT 1150i #9112176

ASML Twinscan AT 1150i는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 제조, 광전자 부품 제조, 나노 포토닉스 연구 등 다양한 응용 분야에 대해 정확한 미세 석판 처리 (micro-lithographic processing) 를 제공하는 완전 자동화 및 컴퓨터 장비입니다. 1150i (1150i) 는 넓은 시야와 고해상도, 높은 처리량을 갖춘 고급 이미징 시스템으로, 생산성을 최적화합니다. 통합 듀얼 스테이지 마이크로 옵틱 유닛 (micro-optic unit) 을 장착하여 다양한 이미징 및 도량형 기능을 제공합니다. 1150i는 TIFF, JPEG, PDF 등 가장 널리 사용되는 형식을 포함하여 다양한 디지털 이미지 형식을 갖춘 뛰어난 이미징 기능을 제공합니다. 또한 이미지 처리 및 분석 (analysis) 작업을 처리하여 웨이퍼 사전처리에서 데이터 획득 및 분석에 이르는 완벽한 워크플로우 (workflow) 를 제공합니다. 1150i 에는 다양한 이미징, 도량형 (metrology), 프로세스 모니터링 툴 (monitor tool) 이 있어 제조 중인 제품의 품질을 보장합니다. 1150i (1150i) 는 각 부품 처리 작업에서 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 자동 조정 절차는 전체 이미징 프로세스가 왜곡되지 않도록 합니다. 또한, 모든 작업이 원하는 매개변수를 따르도록 실시간 확인 (real-time verification) 및 제어 프로세스가 수행됩니다. 또한 활성 정렬 (Active Alignment) 및 정렬 검증 (Alignment Verification) 기능을 갖춘 고급 머신이 장착되어 있으며, 최소 운영자 참여와 함께 향상된 수율과 처리량을 제공합니다. 1150i의 정확성은 통합된 자동 초점 기능으로 더욱 향상되었습니다. 1150i (1150i) 는 또한 다양한 표면 마무리, 도핑 (doping) 및 에치 패턴 (etch pattern) 요구 사항을 포함한 다양한 기판에 대한 광범위한 프로세스 환경 제어 시스템을 제공합니다. 또한 경량 소재 (light-sensitive material) 와 같은 민감한 웨이퍼 소재를 처리 할 수 있으며, 가능한 최고의 이미징 성능을 보장하기 위해 펠리클 (pellicles) 과 같은 특수 코팅으로 작동하도록 구성 될 수 있습니다. 1150i 는 안정적이고 견고한 툴로서, 운영자에게 최고의 정확성과 생산성을 제공합니다. 자가 진단 기능, 통합 안전 시스템 (Integrated Safety System), 세심한 고객 지원으로 인해 이 자산은 매우 유익하고 안정적인 제작 툴이 됩니다.