판매용 중고 ASML Twinscan AT 1150 #9360853

ASML Twinscan AT 1150은 반도체 산업에서 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 여기에는 x-y 평면에서 각도 스캔을위한 1 차 스캔 시스템 (1 차 스캔 시스템) 과 Z축을 따라 선형 스캔을위한 2 차 스캔 장치 (2 차 스캔 장치) 로 구성된 분할 스캐닝 장비가 있습니다. Twinscan AT 1150은 회절 성 마이크로 옵티컬 요소를 사용하여 출력 이미지의 품질을 향상시킵니다. 이미징 중 광학의 손상을 방지하기 위해 차폐기 (shielding machine) 가 장착되어 있습니다. ASML Twinscan AT 1150은 최대 필드 크기가 19 x 19 마일, 최대 필드 편차가 0.05 마일 인 넓은 시야를 가지고 있습니다. 최소 피쳐 크기는 2.5nm이며 최소 피쳐 공차는 0.25nm입니다. 고급 마이크로 옵티컬 요소 덕분에 스테퍼는 가장 넓은 0.8 (0.8) 의 매우 높은 수치 조리개를 갖추고 있습니다. 또한, 광 설계는 동시에 높은 NA와 낮은 왜곡 이미지를 허용합니다. Twinscan AT 1150 은 시간당 최대 500 개의 웨이퍼로 구성된 놀라운 데이터 처리율을 자랑합니다. 또한 표준 (standard) 에서 진공 (vacuum) 에 이르기까지 다양한 환경에서 작동 할 수 있습니다. 관절 (articulated) 스테이지가 장착되어 최대 10m/s의 고속 변환이 가능하며, 정확도와 정밀도를 향상시키는 통합 디지털 측정 도구 (integrated digital measuring tool) 가 있습니다. 스테퍼에는 여러 가지 고급 조명 시스템 (고급 조명 시스템) 이 장착되어 있으며, 전력, 파장, 강도를 위한 다양한 옵션이 있습니다. 고급 내부 소프트웨어를 통해 고급 실내용 이미지 알고리즘 처리 및 이미지 기반 결정을 수행할 수 있습니다. 또한 글로벌 정렬 에셋 (Global Alignment Asset) 과 통합되어 다양한 웨이퍼 표본에서 측정의 정확성을 보장합니다. ASML Twinscan AT 1150은 지속적으로 발전하는 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급형 모델입니다. 넓은 시야 (field of view), 높은 수치 조리개 (high numerical aperture), 빠른 데이터 처리율 (fast data throughput rate) 을 통해 이미지 감소 및 정렬 프로세스에 이상적인 도구입니다. 정교 한 조명 "시스템 '과" 이미지' 처리 능력 은 제조 공정 의 정확 한 요구 조건 에 효과적 으로 적합 하다.