판매용 중고 ASML Twinscan AT 1100B #293817722

ASML Twinscan AT 1100B는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 매우 정확한 스테이지 장비를 사용하여 전체 웨이퍼의 정확한 정렬 및 노출이 가능합니다. 트윈 스칸 (Twinscan) 은 중앙에 위치한 간트리 (Gantry) 에 있으며 두 개의 독립적으로 움직일 수있는 렌즈가 있습니다. "렌즈 '는 강력 한 근접 초점" 시스템' 을 제공 하여 "렌즈 '시프트' 가 일어난 후 에도 항상 동일 한 정확 한 위치 에 있게 한다. AT 1100B는 2.5 나노 미터 미만의 렌즈 움직임을 특징으로하며, 총 초점 범위는 최대 1.73 미크론입니다. 이 정밀도 는 가장 높은 해상도 인 감광 물질 (photosensitive materials) 을 사용 할 때 에도 "웨이퍼 '전체 에 걸쳐 노출 이 일치 할 것 을 보장 해 준다. AT 1100B (AT 1100B) 는 최고 해상도의 감광 물질로도 꾸준한 노출을 유지하기 위해 고급 광학 이득 제어 (optical gain control) 를 사용하며, 샷 중에 웨이퍼가 기울어져도 일관된 노출을 보장합니다. 웨이퍼는 빔 너비 100 미크론, 직경 0.2 미크론으로 X 선 소스에 의해 조명됩니다. 이것은 단 6 초 만에 전체 웨이퍼를 덮는 노출 필드를 생성합니다. 또한 스텝퍼 (stepper) 에는 고급 제어 장치 (advanced control unit) 가 내장되어 있어 사용자가 노출 필드를 모니터링하고 조정할 수 있으며, 포커스 매개변수를 제어할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 전체 웨이퍼에서 가장 높은 정확도와 균일성을 얻을 수 있습니다. 또한 AT 1100B (AT 1100B) 는 센서를 사용하여 웨이퍼 위치를 결정하고 그에 따라 노출 필드를 조정하는 웨이퍼 정렬 머신 (wafer alignment machine) 을 갖추고 있습니다. 마지막으로, 스테퍼에는 충돌 탐지 도구 (collision detection tool) 와 같은 다양한 안전 (safety) 기능이 장착되어 있어 노출 중에 웨이퍼가 손상되지 않습니다. 또한 AT 1100B 는 무중단 업무 운영이 가능하므로 고급, 매우 정확한 생산 라인에 적합합니다.