판매용 중고 ASML Twinscan AT 1100B #293817674

ASML Twinscan AT 1100B는 반도체 제조 장비 제조업체 ASML이 만든 최고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비 는 "실리콘 '의 상단 표면 이나 다른 반도체" 웨이퍼' 에 극히 정확 한 무늬 를 만들어 낼 수 있다. 이 시스템은 웨이퍼를 제자리에 두는 스테이지와 3 가지 주요 움직이는 구성 요소 (조명 단위, 객관식 렌즈, 투영판) 로 구성됩니다. 조명기 는 "웨이퍼 '표면 에" 패턴' 을 완전 히 균일 하게 노출 시키는 데 사용 된다. 이것 은 3 개 의 "할로겐 '" 램프' 를 사용 하여 여러 종류 의 노출 에 맞추어 높이 를 조절 하고 "웨이퍼 '를 가로지르는 균일 한 광도 를 제공 한다. 중공 음극 램프 (Hollow Cathode Lamp) 는 최소한의 열 효과로 고정밀 노출에 안정화 된 초단 노출 시간을 제공하는 데 사용됩니다. 대물렌즈 (objective lens) 는 투영판 (projection plate) 에 의해 투영된 이미지를 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 로 확대하는 데 사용되므로 생성된 패턴이 최고 해상도로 정확합니다. 렌즈에는 다양한 수치 조리개가 있으며, 1X-4X (1X-4X) 에서 확대/축소 할 수 있으며, 최대 정확도로 웨이퍼에서 다른 유형의 패턴을 만들 수 있습니다. 투영판 (projection plate) 은 렌즈 옆에 있으며 원하는 패턴을 웨이퍼 서피스에 투영하는 데 사용됩니다. 이 "플레이트 '에는 거울 의 배열 이 들어 있고 4 개 의" 레이저' 에 의하여 "패턴 '이 생성 되고, 여러 각도 에서" 패턴' 을 만들 수 있도록 180 도 의 운동 이 가능 하다. 다른 웨이퍼 스테퍼와 달리, 트윈 스캔 AT 1100B (Twinscan AT 1100B) 에는 기판을 이동하거나 기울이지 않고 각 레이어의 최적의 노출이 보장되는 레이어 노출 도구가 있습니다. 이것은 정확성을 높이고 생산 속도와 비용 효율성을 높입니다. 에셋의 크기는 데스크톱 (desktop) 이지만 한 위치에서 다른 위치로 쉽게 이동 (wheel) 합니다. 고급 집적 회로에 이상적인 0.5 um 이상의 해상도에서 매우 정확한 패턴을 생성 할 수 있습니다. ASML Twinscan AT 1100B는 최고급 웨이퍼 스테퍼 시스템을 찾는 반도체 장치 제조업체에 적합한 선택입니다.