판매용 중고 ASML Twinscan AT 1100B #293667141

ASML Twinscan AT 1100B는 반도체 산업의 사진 해설에 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 뛰어난 해상도, 뛰어난 균일성, 빠른 주기 시간을 제공하는 고성능 석판화 (lithography) 툴로, 대용량 반도체 제조가 가능합니다. TwinScan의 스캔 장비는 2 개의 미러 스캐닝 구성에서 2 개의 최상위 석판 광학 (optics 1 및 2) 으로 구성됩니다. 이 설정은 전체 웨이퍼 (wafer) 에 걸쳐 뛰어난 이미징과 뛰어난 균일성을 제공하며, 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 수용할 수 있습니다. TwinScan의 고급 옵틱은 또한 우수한 해상도 수준을 제공하며, 최대 NA 크기가 0.9에 이르는 최대 0.35äm 기능을 스캔합니다. Twinscan AT 1100B의 다른 기능으로는 고급 사용자 친화적 제어 소프트웨어 (운영 및 시스템 사용자 지정) 가 있습니다. 또한 정렬 시간을 최소화하고 빠른 웨이퍼 설정을 제공합니다. 또한 시스템 오류를 신속하게 파악하고 해결할 수 있는 자가 문제 해결 (self-troubleshooting) 기능을 제공합니다. TwinScan은 photolithography 프로세스에 필수적인 우수한 도량형을 제공하도록 설계되었습니다. 단색 간섭 쉴드를 사용하여 3D 지형 오류를 감지하는 활성 도량형 (active metrology) 도구가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 오버랩 멀티 필드 스티칭 모드 (wafer overlap multi-field stitching mode) 가 특징입니다. ASML Twinscan AT 1100B는 또한 높은 진공 자산 및 정확한 웨이퍼 로딩 모델을 갖추고 있어 고성능, 처리량을 제공합니다. 또한, 고급 저항 쿡 오프 (resist cook-off) 장비는 노출 중 저항을 태우는 것을 방지하여 성능이 향상됩니다. 전반적으로 Twinscan AT 1100B는 최고의 해상도, 균일성 및 사이클 시간을 제공하는 최고의 웨이퍼 스테퍼입니다. 첨단 기능 및 고밀도 도량형 (high-precision metrology) 을 통해 가장 정확하고 대용량 생산이 필요한 생산 환경에 적합합니다.