판매용 중고 ASML Twinscan AT 1100 #9360842

ASML Twinscan AT 1100은 반도체 장치 생산을 위해 설계된 2 빔 웨이퍼 스캔 장비입니다. 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스와 고급 디지털 신호 처리가 특징입니다. 이 시스템은 고속 (High Speed) 과 정확한 정렬 및 초점 (Focus) 에 최적화되어 있습니다. Twinscan AT 1100은 최고 처리량과 낮은 소유 비용으로 24/7의 빠른 처리 시간을 지원합니다. 또한 Wafer Stepper 는 중요한 Registration, 품질 향상, 데이터 관리를 위한 고급 오버레이 기능도 제공합니다. ASML Twinscan AT 1100은 고화질 이미징, 프로세스 제어 및 고정밀 작동을 위한 고급 기술을 사용합니다. 여기에는 고급 자동 정렬, 참조 정렬 맵, 안정된 정렬을 위한 즉석 보상 기능이 포함됩니다. 이 장치에는 고해상도 웨이퍼 포지셔닝 및 추적 가능한 도량형 스테이션도 있습니다. 이들은 x, y, z 모션, 피치, 롤 등을 측정하도록 설계되었습니다. 또한 Twinscan AT 1100은 스마트 이미징 (Smart Imaging) 기능을 통해 최신 이미지 처리 기술을 활용할 수 있습니다. 여기에는 자동 초점, 렌즈 왜곡 교정, 이미지 비닝 (binning) 과 같은 여러 고급 이미징 기술이 적용된 최대 256비트 해상도가 포함됩니다. 또한 스캐닝 헤드와 고정밀 옵티컬 프로파일러를 모두 사용합니다. 따라서 애플리케이션별 Wafer Flatness 및 결함 식별을 위한 고해상도와 안정적인 정보가 보장됩니다. ASML Twinscan AT 1100 (ASML Twinscan AT 1100) 은 광범위한 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 완전히 모듈식 도구입니다. 레티클에서 대규모 웨이퍼까지 다양한 스캔 형식을 지원합니다. 또한 단일 시야각 (field-of-view) 범위가 최대 200mm인 확장 가능한 설계를 통해 사용자는 특정 애플리케이션 요구에 가장 적합한 스캐닝 기술을 선택할 수 있습니다. Twinscan AT 1100은 또한 소유 비용의 이점을 제공하여 중소형 반도체 생산 시설에 매력적입니다. '낮은' 독립적인 유지 보수 구조를 통해 사용자는 각자의 '서비스 및 지원' 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼에는 안정적인 프로세스를 보장하기 위해 통합 환경 모니터링 스테이션 (Integrated Environment Monitoring Station) 과 도량형 서비스 (Optional Metrology Services) 가 포함됩니다.