판매용 중고 ASML Twinscan AT 1100 #9193540

ASML Twinscan AT 1100은 ASML에서 제조 한 고정밀 웨이퍼 스테퍼로, 복잡한 고해상도 집적 회로 칩 제조를 지원하도록 설계되었습니다. AT1100은 구성 가능하고 확장 가능한 스테퍼로, 직경이 50mm ~ 200mm 범위의 기판을 지원할 수 있습니다. AT1100 은 작고, 사용자에게 친숙한 설계를 갖추고 있으며, 다양한 고급 옵토 (opto) 기계적 구성 요소와 기능을 갖추고 있어 대용량 제작에 적합합니다. 정밀한 기판 위치 지정, 레티클 측정 장비, 고해상도 카메라, 고급 조명시스템을위한 5 축 스캐닝 스테이지가 장착되어 있습니다. AT1100은 높은 수준의 자동화 및 인체 공학적 기능으로 설계되었습니다. 이 장치는 전체 범위의 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 및 여러 웨이퍼 크기 (wafer size) 와 호환되며, 다양한 고압 및 저압 처리 모듈과 호환됩니다. 측정 해상도는 5 nm (5 nm) 로 뛰어난 광학 성능을 제공 할 수 있습니다. 또한 AT1100은 248 nm 및 193nm의 파장 범위를 가진 고급 DUV 스캐너를 갖추고 있습니다. 또한 고급 F2 광학 머신과 0.36 "m '의 반복 능력을 갖춘 고속, 고정밀 4 축 스테이지가 장착되어 있습니다. 광범위한 소프트웨어 제품군을 통해 사용자는 스캐닝 (Scanning) 프로세스를 완벽하게 제어하여 전체 작업을 최적화할 수 있습니다. AT1100 웨이퍼 스테퍼는 다용도가 높으며 고정밀 이미징 및 탁월한 처리량을 제공할 수 있습니다. 고품질 구성 요소와 빠른 주기 (fast cycle) 시간이 필수적인 산업용 어플리케이션에 사용하기 쉽고 적합합니다. 이 툴의 고급 기능과 최적 성능 덕분에 현재 시판되고 있는 가장 안정적이고 비용 효율적인 웨이퍼 (wafer) 스텝퍼 (stepper) 중 하나가 됩니다.